信息记录材料
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신식기록재료
INFORMATION RECORDING MATERIALS
2014年
5期
13-18
,共6页
侯玉群%莫黎昕%翟庆彬%李路海
侯玉群%莫黎昕%翟慶彬%李路海
후옥군%막려흔%적경빈%리로해
电子皮肤%可拉伸电子%银纳米线%电容式压力传感器%电极微结构
電子皮膚%可拉伸電子%銀納米線%電容式壓力傳感器%電極微結構
전자피부%가랍신전자%은납미선%전용식압력전감기%전겁미결구
新型柔性压力传感器具有类似人体皮肤的可拉伸性以及对外力的感知特性,可被用于仿生电子皮肤及各种可穿戴电子设备,近年来引起了学术界和产业界的广泛关注.开发具有优异的传感灵敏度且制作工艺简单、节能、成本低廉的柔性压力传感器具有重要的科学与实际意义.本文以银纳米线(AgNWs)为电极材料,聚二甲基硅氧烷(PDMS)为柔性基底,分别采用PDMS相纸原位固化和抽滤转移固化2种方式制备银纳米线/PDMS复合电极,以聚酰亚胺薄膜(PI)为介电层,将两电极面对面层压封装,得到电容式柔性压力传感器.利用激光共聚焦显微镜和扫描电镜比较了2种制作工艺得到的电极微结构,并研究了上述电极微结构结构对传感器灵敏度的影响.研究结果表明,电极表面银纳米线的蓬松程度及粗糙度能显著影响器件灵敏度.电极表面银纳米线处于较密实状态、粗糙度为0.4μm的传感器灵敏度约为0.43kPa-1;当电极表面银纳米线较为蓬松且粗糙度增大为0.7μm时,传感器灵敏度增大到0.65kPa-1.本文制作的柔性压力传感器具有高灵敏度、低成本的特点,可用于诸如脉搏、心率,发声震动,细微压力变化监控等方面.
新型柔性壓力傳感器具有類似人體皮膚的可拉伸性以及對外力的感知特性,可被用于倣生電子皮膚及各種可穿戴電子設備,近年來引起瞭學術界和產業界的廣汎關註.開髮具有優異的傳感靈敏度且製作工藝簡單、節能、成本低廉的柔性壓力傳感器具有重要的科學與實際意義.本文以銀納米線(AgNWs)為電極材料,聚二甲基硅氧烷(PDMS)為柔性基底,分彆採用PDMS相紙原位固化和抽濾轉移固化2種方式製備銀納米線/PDMS複閤電極,以聚酰亞胺薄膜(PI)為介電層,將兩電極麵對麵層壓封裝,得到電容式柔性壓力傳感器.利用激光共聚焦顯微鏡和掃描電鏡比較瞭2種製作工藝得到的電極微結構,併研究瞭上述電極微結構結構對傳感器靈敏度的影響.研究結果錶明,電極錶麵銀納米線的蓬鬆程度及粗糙度能顯著影響器件靈敏度.電極錶麵銀納米線處于較密實狀態、粗糙度為0.4μm的傳感器靈敏度約為0.43kPa-1;噹電極錶麵銀納米線較為蓬鬆且粗糙度增大為0.7μm時,傳感器靈敏度增大到0.65kPa-1.本文製作的柔性壓力傳感器具有高靈敏度、低成本的特點,可用于諸如脈搏、心率,髮聲震動,細微壓力變化鑑控等方麵.
신형유성압력전감기구유유사인체피부적가랍신성이급대외력적감지특성,가피용우방생전자피부급각충가천대전자설비,근년래인기료학술계화산업계적엄범관주.개발구유우이적전감령민도차제작공예간단、절능、성본저렴적유성압력전감기구유중요적과학여실제의의.본문이은납미선(AgNWs)위전겁재료,취이갑기규양완(PDMS)위유성기저,분별채용PDMS상지원위고화화추려전이고화2충방식제비은납미선/PDMS복합전겁,이취선아알박막(PI)위개전층,장량전겁면대면층압봉장,득도전용식유성압력전감기.이용격광공취초현미경화소묘전경비교료2충제작공예득도적전겁미결구,병연구료상술전겁미결구결구대전감기령민도적영향.연구결과표명,전겁표면은납미선적봉송정도급조조도능현저영향기건령민도.전겁표면은납미선처우교밀실상태、조조도위0.4μm적전감기령민도약위0.43kPa-1;당전겁표면은납미선교위봉송차조조도증대위0.7μm시,전감기령민도증대도0.65kPa-1.본문제작적유성압력전감기구유고령민도、저성본적특점,가용우제여맥박、심솔,발성진동,세미압력변화감공등방면.
