电子工艺技术
電子工藝技術
전자공예기술
ELECTRONICS PROCESS TECHNOLOGY
2014年
3期
128-130,181
,共4页
实验设计%响应曲面法%微组装工艺%统计模型
實驗設計%響應麯麵法%微組裝工藝%統計模型
실험설계%향응곡면법%미조장공예%통계모형
Design of Experiment (DOE)%Response Surface Method (RSM)%Micro-package process%Statistic model
随着微组装工艺技术和设备的发展,许多先进工艺涉及多个输入参数和输出响应,而且参数间具有不同程度交互作用,使得传统的以经验为主的试误法或一次改变一个参数的试验方法并不能满足这些先进工艺的要求.利用实验设计技术,通过建立关键工艺参数与输出响应之间的统计模型,实现了对微组装中金丝球形键合工艺过程的统计表征.试验结果表明,该模型的预测值与实测值吻合较好,可进一步用于工艺过程的设计与参数优化.
隨著微組裝工藝技術和設備的髮展,許多先進工藝涉及多箇輸入參數和輸齣響應,而且參數間具有不同程度交互作用,使得傳統的以經驗為主的試誤法或一次改變一箇參數的試驗方法併不能滿足這些先進工藝的要求.利用實驗設計技術,通過建立關鍵工藝參數與輸齣響應之間的統計模型,實現瞭對微組裝中金絲毬形鍵閤工藝過程的統計錶徵.試驗結果錶明,該模型的預測值與實測值吻閤較好,可進一步用于工藝過程的設計與參數優化.
수착미조장공예기술화설비적발전,허다선진공예섭급다개수입삼수화수출향응,이차삼수간구유불동정도교호작용,사득전통적이경험위주적시오법혹일차개변일개삼수적시험방법병불능만족저사선진공예적요구.이용실험설계기술,통과건립관건공예삼수여수출향응지간적통계모형,실현료대미조장중금사구형건합공예과정적통계표정.시험결과표명,해모형적예측치여실측치문합교호,가진일보용우공예과정적설계여삼수우화.
