有色金属（冶炼部分）
有色金屬（冶煉部分）
유색금속（야련부분）
NONFERROUS METALS(EXTRACTIVE METALLURGY)
2014年
10期
64-68
,共5页
曾纪术%陈锦全%杨眉%吴伯增
曾紀術%陳錦全%楊眉%吳伯增
증기술%진금전%양미%오백증
ITO靶材%断口%混合酸%结瘤
ITO靶材%斷口%混閤痠%結瘤
ITO파재%단구%혼합산%결류
ITO target%fracture%mixed acid%nodule formation
对国产与日本产两种ITO靶材进行全面的分析对比,并对ITO靶材的断口形貌与靶材黑化结瘤之间的关系进行了探讨.结果表明,国产靶材与日本靶材的相对密度、电阻率、失氧率等参数比较接近,二者均为单一晶相的固溶体.国产靶材的断面为“解理+韧窝”的脆—韧混合断裂,断裂面晶界上出现了粒径较大的无规则颗粒物;而日本靶材断面为解理脆性断裂,断裂面晶界清晰,无颗粒物出现.
對國產與日本產兩種ITO靶材進行全麵的分析對比,併對ITO靶材的斷口形貌與靶材黑化結瘤之間的關繫進行瞭探討.結果錶明,國產靶材與日本靶材的相對密度、電阻率、失氧率等參數比較接近,二者均為單一晶相的固溶體.國產靶材的斷麵為“解理+韌窩”的脆—韌混閤斷裂,斷裂麵晶界上齣現瞭粒徑較大的無規則顆粒物;而日本靶材斷麵為解理脆性斷裂,斷裂麵晶界清晰,無顆粒物齣現.
대국산여일본산량충ITO파재진행전면적분석대비,병대ITO파재적단구형모여파재흑화결류지간적관계진행료탐토.결과표명,국산파재여일본파재적상대밀도、전조솔、실양솔등삼수비교접근,이자균위단일정상적고용체.국산파재적단면위“해리+인와”적취—인혼합단렬,단렬면정계상출현료립경교대적무규칙과립물;이일본파재단면위해리취성단렬,단렬면정계청석,무과립물출현.
