CAJ | 학술논문

本文利用有限元法模拟了生长氮化镓(GaN)材料所用的金属有机物化学气相淀积（MOVPE）设备反应室内的电磁场分布。主要对影响电磁场分布的感应加热条件，如电流频率和电流强度进行了分析，给出了磁场磁矢势和焦耳热分布，以及它们分别与电流频率和电流强度的关系。通过对立式和卧式MOVPE反应室的焦耳热的分布的比较，得出在温度分布均匀性方面，卧式MOVPE反应室感应加热优于立式反应室。
본문이용유한원법모의료생장담화가(GaN)재료소용적금속유궤물화학기상정적（MOVPE）설비반응실내적전자장분포。주요대영향전자장분포적감응가열조건，여전류빈솔화전류강도진행료분석，급출료자장자시세화초이열분포，이급타문분별여전류빈솔화전류강도적관계。통과대입식화와식MOVPE반응실적초이열적분포적비교，득출재온도분포균균성방면，와식MOVPE반응실감응가열우우입식반응실。