广东广播电视大学学报
廣東廣播電視大學學報
엄동엄파전시대학학보
JOURNAL OF GUANGDONG RADIO & TELEVISION UNIVERSITY
2014年
1期
109-112
,共4页
单晶碳化硅%集群磁流变效应%抛光加工
單晶碳化硅%集群磁流變效應%拋光加工
단정탄화규%집군자류변효응%포광가공
基于集群磁流变效应超光滑平面抛光理论及试验装置对单晶碳化硅基片进行了平面抛光试验,结果表明,金刚石磨料对单晶SiC基片具有较高的材料去除率;加工间隙在1.Smm左右具有较好的加工效果,随着加工时间的延长表面粗糙度越来越小,且30min内表面粗糙度变化率达到89％以上.通过优化工艺参数对单晶SiC进行集群磁流变平面抛光,发现经过30min加工,表面粗糙度Ra从42.1nm下降到4.2nm,表明集群磁流变效应平面抛光用于加工单晶SiC基片可行且效果显著.
基于集群磁流變效應超光滑平麵拋光理論及試驗裝置對單晶碳化硅基片進行瞭平麵拋光試驗,結果錶明,金剛石磨料對單晶SiC基片具有較高的材料去除率;加工間隙在1.Smm左右具有較好的加工效果,隨著加工時間的延長錶麵粗糙度越來越小,且30min內錶麵粗糙度變化率達到89％以上.通過優化工藝參數對單晶SiC進行集群磁流變平麵拋光,髮現經過30min加工,錶麵粗糙度Ra從42.1nm下降到4.2nm,錶明集群磁流變效應平麵拋光用于加工單晶SiC基片可行且效果顯著.
기우집군자류변효응초광활평면포광이론급시험장치대단정탄화규기편진행료평면포광시험,결과표명,금강석마료대단정SiC기편구유교고적재료거제솔;가공간극재1.Smm좌우구유교호적가공효과,수착가공시간적연장표면조조도월래월소,차30min내표면조조도변화솔체도89％이상.통과우화공예삼수대단정SiC진행집군자류변평면포광,발현경과30min가공,표면조조도Ra종42.1nm하강도4.2nm,표명집군자류변효응평면포광용우가공단정SiC기편가행차효과현저.
