CAJ | 학술논문

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中国新技术新产品 중국신기술신산품
CHINA NEW TECHNOLOGIES AND PRODUCTS
2014年 10期 5-6 ,共2页

杜海波%田亮亮%苗英俊%李丹丹杜海波%田亮亮%苗英俊%李丹丹

두해파%전량량%묘영준%리단단

三氟化氮%高温热裂解%泄漏%在线监测三氟化氮%高溫熱裂解%洩漏%在線鑑測
삼불화담%고온열렬해%설루%재선감측

为了实现三氟化氮生产及灌装车间三氟化氮气体的泄漏监测，研究了一套基于超高温裂解原理的三氟化氮泄漏在线监测系统。该系统采用MSP430单片机作为主控芯片，具有响应速度快、测量准确、误码率的特点，能够最低检测到0.1 ul/L的泄漏，信号能够直接接入厂区的DCS系统。
위료실현삼불화담생산급관장차간삼불화담기체적설루감측，연구료일투기우초고온렬해원리적삼불화담설루재선감측계통。해계통채용MSP430단편궤작위주공심편，구유향응속도쾌、측량준학、오마솔적특점，능구최저검측도0.1 ul/L적설루，신호능구직접접입엄구적DCS계통。