中国化工贸易
中國化工貿易
중국화공무역
CHINA CHEMICAL TRADE
2014年
16期
158-159
,共2页
胡帅%董云海%孟祥军%李丹丹
鬍帥%董雲海%孟祥軍%李丹丹
호수%동운해%맹상군%리단단
电子气体%隔膜压缩机%水分处理%吸附%脱附
電子氣體%隔膜壓縮機%水分處理%吸附%脫附
전자기체%격막압축궤%수분처리%흡부%탈부
本文首先阐述了管路内壁去除水分的原理，并介绍了电子气体生产装置中隔膜压缩机气体管路水分处理方法的改进。改进后的处理方法缩短了气体管路水分处理时间，改善了处理效果，能够满足常用电子气体的水分含量要求。
本文首先闡述瞭管路內壁去除水分的原理，併介紹瞭電子氣體生產裝置中隔膜壓縮機氣體管路水分處理方法的改進。改進後的處理方法縮短瞭氣體管路水分處理時間，改善瞭處理效果，能夠滿足常用電子氣體的水分含量要求。
본문수선천술료관로내벽거제수분적원리，병개소료전자기체생산장치중격막압축궤기체관로수분처리방법적개진。개진후적처리방법축단료기체관로수분처리시간，개선료처리효과，능구만족상용전자기체적수분함량요구。
