大科技
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대과기
Super Science
2014年
22期
344-344,345
,共2页
杨秀凡%陈召松%张海玲
楊秀凡%陳召鬆%張海玲
양수범%진소송%장해령
微波等离子体%合成%沉积%表面改性%趋势
微波等離子體%閤成%沉積%錶麵改性%趨勢
미파등리자체%합성%침적%표면개성%추세
简述了近年来微波等离子体在薄膜材料合成、薄膜沉积、表面改性等方面的研究现状，并简要分析了其发展趋势。
簡述瞭近年來微波等離子體在薄膜材料閤成、薄膜沉積、錶麵改性等方麵的研究現狀，併簡要分析瞭其髮展趨勢。
간술료근년래미파등리자체재박막재료합성、박막침적、표면개성등방면적연구현상，병간요분석료기발전추세。
