CAJ | 학술논문

研究了薄膜沉积方法,基于空心阴极金属溅射,在基材附近提供反应气体.工作气体和携带溅射原子通过一个狭长通道从阴极出来,这样,反应气体被阻止到达靶面.用Cu靶和脉冲电源激励,研究了阴极的基本运作.研究包括沉积率对电源、压强、气体流量和膜厚分布的依存关系,以及膜电阻率作为基材上的状态函数.用模型进行计算气体的速度分布和在腔内的压强,A12O3膜是在氧的活性环境下溅射一个A1靶获得的,必须指出只要极少量氧气通过阴极就能氧化(中毒)靶,而外面大量氧气完全不会影响靶,在后者模式下实现了非常稳定的放电且易形成的A12O3薄膜.利用该方法制备透明的ZnO导电膜,掺杂A1或B,达到了高沉积率,且在适当氧流量下得到了低的膜电阻率.同时,制备了高迁移率的In2O3∶Mo透明导电膜,电阻率仅有1.9× 10-4Q·cm.给出了空心阴极的比例关系、沉积效率,比较了磁控溅射和直线的活性环境空心阴极溅射.
연구료박막침적방법,기우공심음겁금속천사,재기재부근제공반응기체.공작기체화휴대천사원자통과일개협장통도종음겁출래,저양,반응기체피조지도체파면.용Cu파화맥충전원격려,연구료음겁적기본운작.연구포괄침적솔대전원、압강、기체류량화막후분포적의존관계,이급막전조솔작위기재상적상태함수.용모형진행계산기체적속도분포화재강내적압강,A12O3막시재양적활성배경하천사일개A1파획득적,필수지출지요겁소량양기통과음겁취능양화(중독)파,이외면대량양기완전불회영향파,재후자모식하실현료비상은정적방전차역형성적A12O3박막.이용해방법제비투명적ZnO도전막,참잡A1혹B,체도료고침적솔,차재괄당양류량하득도료저적막전조솔.동시,제비료고천이솔적In2O3∶Mo투명도전막,전조솔부유1.9× 10-4Q·cm.급출료공심음겁적비례관계、침적효솔,비교료자공천사화직선적활성배경공심음겁천사.