制造技术与机床
製造技術與機床
제조기술여궤상
MANUFACTURING TECHNOLOGY & MACHINE TOOL
2014年
6期
90-93
,共4页
岳晓斌%刘波%雷大江%徐敏
嶽曉斌%劉波%雷大江%徐敏
악효빈%류파%뢰대강%서민
金刚石刀具%垂直扫描%白光干涉%表面粗糙度
金剛石刀具%垂直掃描%白光榦涉%錶麵粗糙度
금강석도구%수직소묘%백광간섭%표면조조도
diamond tool%vertical scanning%white-light interference%surface roughness
金刚石刀具切削加工光学表面时,工件表面粗糙度与刀具表面粗糙度密切相关.利用垂直扫描白光干涉法,获得了金刚石刀具前、后刀面粗糙度的测量图像并分析了测量结果,实现了金刚石刀具表面粗糙度亚纳米级精度的快速、高重复性测量.通过比较,光学轮廓仪与AFM对超光滑表面粗糙度测量的结果具有很好的相关性.
金剛石刀具切削加工光學錶麵時,工件錶麵粗糙度與刀具錶麵粗糙度密切相關.利用垂直掃描白光榦涉法,穫得瞭金剛石刀具前、後刀麵粗糙度的測量圖像併分析瞭測量結果,實現瞭金剛石刀具錶麵粗糙度亞納米級精度的快速、高重複性測量.通過比較,光學輪廓儀與AFM對超光滑錶麵粗糙度測量的結果具有很好的相關性.
금강석도구절삭가공광학표면시,공건표면조조도여도구표면조조도밀절상관.이용수직소묘백광간섭법,획득료금강석도구전、후도면조조도적측량도상병분석료측량결과,실현료금강석도구표면조조도아납미급정도적쾌속、고중복성측량.통과비교,광학륜곽의여AFM대초광활표면조조도측량적결과구유흔호적상관성.
