传感器世界
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전감기세계
SENSOR WORLD
2014年
6期
19-22
,共4页
孙冰%田丰%齐景爱%高金雍%阎国英
孫冰%田豐%齊景愛%高金雍%閻國英
손빙%전봉%제경애%고금옹%염국영
原子力显微镜%功能%原理和结构%薄膜表面粗糙度%不平整度
原子力顯微鏡%功能%原理和結構%薄膜錶麵粗糙度%不平整度
원자력현미경%공능%원리화결구%박막표면조조도%불평정도
介绍原子力显微镜功能、原理和结构,用于检测原子之间的接触来呈现样品的表面形貌特性,如粗糙度、起伏不平整度等,提供三维表面图像.常用的是激光反射检测系统,由探针、激光发生器和光检测器组成.探针是由悬臂和悬臂末端的针尖组成,悬臂是由Si或Si3N4经光刻技术用MEMS技术加工而成.当在样品表面扫描的探针引起悬臂梁弯曲时,产生应力.再由压电陶瓷能将十几分之一纳米到几微米的位移而导致的应力信号转换成1 mV～ 1000V的电信号,以代表样品表面的不平整度.同时简单介绍了利用原子力显微镜观察不同退火温度对制备的气敏传感器薄膜表面晶粒度的影响,以及不同腐蚀液抛光硅片的效果.
介紹原子力顯微鏡功能、原理和結構,用于檢測原子之間的接觸來呈現樣品的錶麵形貌特性,如粗糙度、起伏不平整度等,提供三維錶麵圖像.常用的是激光反射檢測繫統,由探針、激光髮生器和光檢測器組成.探針是由懸臂和懸臂末耑的針尖組成,懸臂是由Si或Si3N4經光刻技術用MEMS技術加工而成.噹在樣品錶麵掃描的探針引起懸臂樑彎麯時,產生應力.再由壓電陶瓷能將十幾分之一納米到幾微米的位移而導緻的應力信號轉換成1 mV～ 1000V的電信號,以代錶樣品錶麵的不平整度.同時簡單介紹瞭利用原子力顯微鏡觀察不同退火溫度對製備的氣敏傳感器薄膜錶麵晶粒度的影響,以及不同腐蝕液拋光硅片的效果.
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