强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2014年
7期
243-247
,共5页
潘鑫%马志斌%李国伟%曹为%王传新%付秋明
潘鑫%馬誌斌%李國偉%曹為%王傳新%付鞦明
반흠%마지빈%리국위%조위%왕전신%부추명
刻蚀%CVD金刚石%等离子体参数%ECR等离子体
刻蝕%CVD金剛石%等離子體參數%ECR等離子體
각식%CVD금강석%등리자체삼수%ECR등리자체
etching%CVD diamond%plasma parameters%ECR plasma
采用电子回旋共振(ECR)等离子体在不同的磁场位形和工作气压下刻蚀化学气相沉积(CVD)金刚石膜,运用双探针和离子灵敏探针法对等离子体进行了诊断,研究了等离子体参数对刻蚀效果的影响.结果表明:磁场由发散场向收敛场转变时,离子温度、电子温度和等离子体密度都随之增大,刻蚀效果逐渐增强;当工作气压由低气压向高气压变化时,等离子体参数先增大后减小,CVD金刚石膜表面粗糙度降低程度也出现了相同的趋势.
採用電子迴鏇共振(ECR)等離子體在不同的磁場位形和工作氣壓下刻蝕化學氣相沉積(CVD)金剛石膜,運用雙探針和離子靈敏探針法對等離子體進行瞭診斷,研究瞭等離子體參數對刻蝕效果的影響.結果錶明:磁場由髮散場嚮收斂場轉變時,離子溫度、電子溫度和等離子體密度都隨之增大,刻蝕效果逐漸增彊;噹工作氣壓由低氣壓嚮高氣壓變化時,等離子體參數先增大後減小,CVD金剛石膜錶麵粗糙度降低程度也齣現瞭相同的趨勢.
채용전자회선공진(ECR)등리자체재불동적자장위형화공작기압하각식화학기상침적(CVD)금강석막,운용쌍탐침화리자령민탐침법대등리자체진행료진단,연구료등리자체삼수대각식효과적영향.결과표명:자장유발산장향수렴장전변시,리자온도、전자온도화등리자체밀도도수지증대,각식효과축점증강;당공작기압유저기압향고기압변화시,등리자체삼수선증대후감소,CVD금강석막표면조조도강저정도야출현료상동적추세.
