强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2014年
7期
100-104
,共5页
杨俊%易葵%魏朝阳%胡国行%崔辉%邵建达
楊俊%易葵%魏朝暘%鬍國行%崔輝%邵建達
양준%역규%위조양%호국행%최휘%소건체
熔石英%再沉积层%蚀刻%二次离子质谱
鎔石英%再沉積層%蝕刻%二次離子質譜
용석영%재침적층%식각%이차리자질보
fused silica%redeposition layer%etching%secondary ion mass spectroscopy
利用原子力显微镜观察熔石英不同蚀刻时间的表面形貌,结合二次离子质谱分析,研究了熔石英的再沉积层结构和杂质分布.结果表明,熔石英表面深度10 nm的再沉积层内存在大量微裂纹和杂质,经蚀刻展开形成nm级划痕和坑点,其分布随着深度增加呈指数衰减.根据mm级划痕密度、宽深比随蚀刻深度变化的规律,估算出再沉积层厚度,估算结果与二次离子质谱测得的杂质嵌入深度基本一致.杂质元素嵌入深度与抛光微裂纹分布特征的关联性表明,杂质很有可能藏匿在抛光微裂纹中.
利用原子力顯微鏡觀察鎔石英不同蝕刻時間的錶麵形貌,結閤二次離子質譜分析,研究瞭鎔石英的再沉積層結構和雜質分佈.結果錶明,鎔石英錶麵深度10 nm的再沉積層內存在大量微裂紋和雜質,經蝕刻展開形成nm級劃痕和坑點,其分佈隨著深度增加呈指數衰減.根據mm級劃痕密度、寬深比隨蝕刻深度變化的規律,估算齣再沉積層厚度,估算結果與二次離子質譜測得的雜質嵌入深度基本一緻.雜質元素嵌入深度與拋光微裂紋分佈特徵的關聯性錶明,雜質很有可能藏匿在拋光微裂紋中.
이용원자력현미경관찰용석영불동식각시간적표면형모,결합이차리자질보분석,연구료용석영적재침적층결구화잡질분포.결과표명,용석영표면심도10 nm적재침적층내존재대량미렬문화잡질,경식각전개형성nm급화흔화갱점,기분포수착심도증가정지수쇠감.근거mm급화흔밀도、관심비수식각심도변화적규률,고산출재침적층후도,고산결과여이차리자질보측득적잡질감입심도기본일치.잡질원소감입심도여포광미렬문분포특정적관련성표명,잡질흔유가능장닉재포광미렬문중.
