强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2014年
7期
95-99
,共5页
侯晶%王洪祥%廖德锋%陈贤华%谢瑞清%王健
侯晶%王洪祥%廖德鋒%陳賢華%謝瑞清%王健
후정%왕홍상%료덕봉%진현화%사서청%왕건
激光晶体%加工技术%面形%粗糙度
激光晶體%加工技術%麵形%粗糙度
격광정체%가공기술%면형%조조도
laser crystals%manufacturing process%figure%roughness
针对高功率激光器中使用的激光晶体关键元件,开展了晶体的先进加工技术的研究.根据LBO及YCOB晶体材料的加工特性,选取了定向切割、研磨、预抛光、磁流变抛光、合成盘抛光和机械化学抛光的总体技术路线.对不同种类晶体加工设计了不同的工艺路线,开展了相关加工工艺研究.其中LBO晶体的面形收敛工艺主要采用磁流变抛光,YCOB晶体的面形工艺主要采用合成盘抛光.通过组合加工工艺,获得了高质量的晶体加工指标,LBO晶体透射波前0.12λ(λ=632.8 nm),粗糙度0.77 nm;YCOB晶体面形0.11λ,粗糙度0.68 nm.确定了晶体元件的整体加工技术路线,并对整个工艺流程开展了工艺实验研究,取得了较好的实验效果,实现了激光晶体的高质量加工指标.
針對高功率激光器中使用的激光晶體關鍵元件,開展瞭晶體的先進加工技術的研究.根據LBO及YCOB晶體材料的加工特性,選取瞭定嚮切割、研磨、預拋光、磁流變拋光、閤成盤拋光和機械化學拋光的總體技術路線.對不同種類晶體加工設計瞭不同的工藝路線,開展瞭相關加工工藝研究.其中LBO晶體的麵形收斂工藝主要採用磁流變拋光,YCOB晶體的麵形工藝主要採用閤成盤拋光.通過組閤加工工藝,穫得瞭高質量的晶體加工指標,LBO晶體透射波前0.12λ(λ=632.8 nm),粗糙度0.77 nm;YCOB晶體麵形0.11λ,粗糙度0.68 nm.確定瞭晶體元件的整體加工技術路線,併對整箇工藝流程開展瞭工藝實驗研究,取得瞭較好的實驗效果,實現瞭激光晶體的高質量加工指標.
침대고공솔격광기중사용적격광정체관건원건,개전료정체적선진가공기술적연구.근거LBO급YCOB정체재료적가공특성,선취료정향절할、연마、예포광、자류변포광、합성반포광화궤계화학포광적총체기술로선.대불동충류정체가공설계료불동적공예로선,개전료상관가공공예연구.기중LBO정체적면형수렴공예주요채용자류변포광,YCOB정체적면형공예주요채용합성반포광.통과조합가공공예,획득료고질량적정체가공지표,LBO정체투사파전0.12λ(λ=632.8 nm),조조도0.77 nm;YCOB정체면형0.11λ,조조도0.68 nm.학정료정체원건적정체가공기술로선,병대정개공예류정개전료공예실험연구,취득료교호적실험효과,실현료격광정체적고질량가공지표.
