提拉法SiO2化学膜厚度与折射率的变化规律研究
제랍법SiO2화학막후도여절사솔적변화규률연구
Changes of thickness and refractive index of silica sol-gel film by dip coating process
  • 万方数据
    强激光与粒子束 강격광여입자속
    HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
    2014年 7期 70-74 ,共5页

    张日东%严鸿维%吕海兵%张尽力%晏良宏%赵松楠%王韬%雷洁红

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    采用提拉法在硅基底上制备了多孔溶胶凝胶SiO2膜,用椭偏法测量薄膜的厚度与折射率,考察了提拉速度和胶体浓度对膜层厚度与折射率的影响.对厚度与提拉速度的关系进行线性与幂函数拟合,并比较分析两种拟合的关系及其对工艺流程的作用.比较了不同浓度胶体所得到的同一厚度薄膜的折射率变化规律.结果表明:对于同一胶体浓度下薄膜厚度与提拉速度的正相关关系,线性拟合相比幂函数拟合可以更好地解释实验结果的规律性.同时,折射率在一定范围内也会随着提拉速度的增加而减小.镀同一厚度膜时,浓度大的胶体膜层折射率大.通过对提拉速度和胶体浓度的控制可以得到理想的薄膜厚度与折射率.
    채용제랍법재규기저상제비료다공용효응효SiO2막,용타편법측량박막적후도여절사솔,고찰료제랍속도화효체농도대막층후도여절사솔적영향.대후도여제랍속도적관계진행선성여멱함수의합,병비교분석량충의합적관계급기대공예류정적작용.비교료불동농도효체소득도적동일후도박막적절사솔변화규률.결과표명:대우동일효체농도하박막후도여제랍속도적정상관관계,선성의합상비멱함수의합가이경호지해석실험결과적규률성.동시,절사솔재일정범위내야회수착제랍속도적증가이감소.도동일후도막시,농도대적효체막층절사솔대.통과대제랍속도화효체농도적공제가이득도이상적박막후도여절사솔.
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