含能材料
含能材料
함능재료
ENERGETIC MATERIALS
2014年
3期
365-370
,共6页
蒋小军%王军%沈金朋%李瑞%杨光成%黄辉
蔣小軍%王軍%瀋金朋%李瑞%楊光成%黃輝
장소군%왕군%침금붕%리서%양광성%황휘
物理化学%聚四氟乙烯/铝(PTFE/Al)%纳米反应多层膜%磁控溅射%力学性能
物理化學%聚四氟乙烯/鋁(PTFE/Al)%納米反應多層膜%磁控濺射%力學性能
물이화학%취사불을희/려(PTFE/Al)%납미반응다층막%자공천사%역학성능
physical chemistry%PTFE/Al%reactive multilayer films%magnetron sputtering%mechanical property
以铝(Al)为可燃物质,聚四氟乙烯(PTFE)为氧化剂,利用射频磁控溅射法制备了不同厚度,交替沉积的PTFE/Al反应多层膜.采用原子力显微镜(AFM)、X-射线衍射仪(XRD)研究了溅射功率对薄膜表面形貌的影响规律,得到了PTFE/Al反应多层膜适宜的制备工艺,利用纳米压痕仪研究了PTFE/Al反应多层膜的力学性能.结果表明,当射频溅射功率分别为50W和150W时,制得的PTFE薄膜和Al薄膜的平均粗糙度与均方根粗糙度均较低.当PTFE/Al反应多层膜总厚度约为300 nm时,与相同厚度的纯PTFE膜和纯Al膜相比,PTFE/Al反应多层膜具有较高的硬度和弹性模量,分别为5.8 GPa和1 20.0 GPa.
以鋁(Al)為可燃物質,聚四氟乙烯(PTFE)為氧化劑,利用射頻磁控濺射法製備瞭不同厚度,交替沉積的PTFE/Al反應多層膜.採用原子力顯微鏡(AFM)、X-射線衍射儀(XRD)研究瞭濺射功率對薄膜錶麵形貌的影響規律,得到瞭PTFE/Al反應多層膜適宜的製備工藝,利用納米壓痕儀研究瞭PTFE/Al反應多層膜的力學性能.結果錶明,噹射頻濺射功率分彆為50W和150W時,製得的PTFE薄膜和Al薄膜的平均粗糙度與均方根粗糙度均較低.噹PTFE/Al反應多層膜總厚度約為300 nm時,與相同厚度的純PTFE膜和純Al膜相比,PTFE/Al反應多層膜具有較高的硬度和彈性模量,分彆為5.8 GPa和1 20.0 GPa.
이려(Al)위가연물질,취사불을희(PTFE)위양화제,이용사빈자공천사법제비료불동후도,교체침적적PTFE/Al반응다층막.채용원자력현미경(AFM)、X-사선연사의(XRD)연구료천사공솔대박막표면형모적영향규률,득도료PTFE/Al반응다층막괄의적제비공예,이용납미압흔의연구료PTFE/Al반응다층막적역학성능.결과표명,당사빈천사공솔분별위50W화150W시,제득적PTFE박막화Al박막적평균조조도여균방근조조도균교저.당PTFE/Al반응다층막총후도약위300 nm시,여상동후도적순PTFE막화순Al막상비,PTFE/Al반응다층막구유교고적경도화탄성모량,분별위5.8 GPa화1 20.0 GPa.
