暨南大学学报（自然科学与医学版）
暨南大學學報（自然科學與醫學版）
기남대학학보（자연과학여의학판）
JOURNAL OF JINAN UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE & MEDICINE EDITION）
2014年
4期
357-360
,共4页
曹水良%梁志红%尹平河
曹水良%樑誌紅%尹平河
조수량%량지홍%윤평하
场发射扫描电镜%二次电子图像%能量选择式背散射电子图像%低加速电压%荷电现象
場髮射掃描電鏡%二次電子圖像%能量選擇式揹散射電子圖像%低加速電壓%荷電現象
장발사소묘전경%이차전자도상%능량선택식배산사전자도상%저가속전압%하전현상
field emission scanning electron microscopy(FSEM)%secondary electron(SE)ima-ges%energy selective backscattered(EsB)electron images%low acceleration voltage%the charge phenomenon
利用蔡司Ultra55场发射扫描电镜观察原子力显微镜探针和聚苯乙烯微球在不同加速电压下的二次电子图像和能量选择式背散射电子图像。结果发现：在合适的低加速电压下，样品可以直接观察，不需喷金处理，而且二次电子图像所呈现的样品表面细节更丰富，更清晰；能量选择式背散射电子图像样品成分衬度明显，可以有效消除荷电现象和各种假象。
利用蔡司Ultra55場髮射掃描電鏡觀察原子力顯微鏡探針和聚苯乙烯微毬在不同加速電壓下的二次電子圖像和能量選擇式揹散射電子圖像。結果髮現：在閤適的低加速電壓下，樣品可以直接觀察，不需噴金處理，而且二次電子圖像所呈現的樣品錶麵細節更豐富，更清晰；能量選擇式揹散射電子圖像樣品成分襯度明顯，可以有效消除荷電現象和各種假象。
이용채사Ultra55장발사소묘전경관찰원자력현미경탐침화취분을희미구재불동가속전압하적이차전자도상화능량선택식배산사전자도상。결과발현：재합괄적저가속전압하，양품가이직접관찰，불수분금처리，이차이차전자도상소정현적양품표면세절경봉부，경청석；능량선택식배산사전자도상양품성분츤도명현，가이유효소제하전현상화각충가상。
To study the secondary electron(SE)images and energy selective backscattered(EsB)e-lectron images of atomic force microscope(AFM)probe and polystyrene balls under different acceleration voltage,Zeiss ultra55 field emission scanning electron microscopy(FSEM)was used.The results showed that samples could be directly observed under proper low acceleration voltage without sputtering gold film. The SE images had more surface details and more clearly images;EsB images had obvious composition contrast;Also,it could eliminate the charge effect and all kinds of pseudomorphs effectively.
