磁性材料及器件
磁性材料及器件
자성재료급기건
JOURNAL OF MAGNETIC MATERIALS AND DEVICES
2014年
3期
10-12,54
,共4页
Sm-Fe-B薄膜%离子束溅射%衬底预应变%软磁特性%磁致伸缩
Sm-Fe-B薄膜%離子束濺射%襯底預應變%軟磁特性%磁緻伸縮
Sm-Fe-B박막%리자속천사%츤저예응변%연자특성%자치신축
Sm-Fe-B thin film%ion beam sputtering deposition%substrate prestrain%soft magnetic property%magnetostriction
采用离子束溅射沉积法在不同预应变衬底上制备Sm-Fe-B超磁致伸缩薄膜(GMF).使用LK-G150激光微位移传感器与交变梯度磁强计(AGM)分别测试薄膜悬臂梁自由端偏转量与磁滞回线,以研究衬底预应变对薄膜磁致伸缩性能及软磁性能的影响.研究结果表明,在预应变衬底上所制备薄膜样品的低场磁敏性明显优于无预应变衬底上镀膜所获样品,且矫顽力较无衬底预应变样品减小;张预应变衬底上镀膜所获样品长、短轴方向磁滞回线之间差异变大,磁各向异性增强,易磁化轴位于长轴方向;而压预应变衬底上镀膜所获样品长轴与短轴方向磁滞回线之间差异减小,磁各向异性减小.
採用離子束濺射沉積法在不同預應變襯底上製備Sm-Fe-B超磁緻伸縮薄膜(GMF).使用LK-G150激光微位移傳感器與交變梯度磁彊計(AGM)分彆測試薄膜懸臂樑自由耑偏轉量與磁滯迴線,以研究襯底預應變對薄膜磁緻伸縮性能及軟磁性能的影響.研究結果錶明,在預應變襯底上所製備薄膜樣品的低場磁敏性明顯優于無預應變襯底上鍍膜所穫樣品,且矯頑力較無襯底預應變樣品減小;張預應變襯底上鍍膜所穫樣品長、短軸方嚮磁滯迴線之間差異變大,磁各嚮異性增彊,易磁化軸位于長軸方嚮;而壓預應變襯底上鍍膜所穫樣品長軸與短軸方嚮磁滯迴線之間差異減小,磁各嚮異性減小.
채용리자속천사침적법재불동예응변츤저상제비Sm-Fe-B초자치신축박막(GMF).사용LK-G150격광미위이전감기여교변제도자강계(AGM)분별측시박막현비량자유단편전량여자체회선,이연구츤저예응변대박막자치신축성능급연자성능적영향.연구결과표명,재예응변츤저상소제비박막양품적저장자민성명현우우무예응변츤저상도막소획양품,차교완력교무츤저예응변양품감소;장예응변츤저상도막소획양품장、단축방향자체회선지간차이변대,자각향이성증강,역자화축위우장축방향;이압예응변츤저상도막소획양품장축여단축방향자체회선지간차이감소,자각향이성감소.
