哈尔滨理工大学学报
哈爾濱理工大學學報
합이빈리공대학학보
JOURNAL OF HARBIN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
2014年
3期
31-34,39
,共5页
朱敏%山岳%张月%罗双超%王东兴
硃敏%山嶽%張月%囉雙超%王東興
주민%산악%장월%라쌍초%왕동흥
氧化锌薄膜晶体管%低驱动电压%磁控溅射%载流子迁移率
氧化鋅薄膜晶體管%低驅動電壓%磁控濺射%載流子遷移率
양화자박막정체관%저구동전압%자공천사%재류자천이솔
ZnO Thin Film Transistor%low active voltage%magnetron sputtering%mobility of charge carriers
针对目前发表的氧化物薄膜晶体管的研究成果中,存在着驱动电压高,工作电流小的问题,制备了垂直结构的氧化锌薄膜晶体管.器件制备是以石英玻璃为衬底,采用磁控溅射工艺,以氧化锌薄膜为有源层.测试结果表明,制备的晶体管驱动电压低、工作电流大、载流子迁移率高.在偏压条件KGS为0.2V,VDS为3V时,漏源极电流IDS达到9.15mA,开启电压Vth仅在1.35V左右,可以作为有机发光二极管的驱动单元,具备了实用化特性.
針對目前髮錶的氧化物薄膜晶體管的研究成果中,存在著驅動電壓高,工作電流小的問題,製備瞭垂直結構的氧化鋅薄膜晶體管.器件製備是以石英玻璃為襯底,採用磁控濺射工藝,以氧化鋅薄膜為有源層.測試結果錶明,製備的晶體管驅動電壓低、工作電流大、載流子遷移率高.在偏壓條件KGS為0.2V,VDS為3V時,漏源極電流IDS達到9.15mA,開啟電壓Vth僅在1.35V左右,可以作為有機髮光二極管的驅動單元,具備瞭實用化特性.
침대목전발표적양화물박막정체관적연구성과중,존재착구동전압고,공작전류소적문제,제비료수직결구적양화자박막정체관.기건제비시이석영파리위츤저,채용자공천사공예,이양화자박막위유원층.측시결과표명,제비적정체관구동전압저、공작전류대、재류자천이솔고.재편압조건KGS위0.2V,VDS위3V시,루원겁전류IDS체도9.15mA,개계전압Vth부재1.35V좌우,가이작위유궤발광이겁관적구동단원,구비료실용화특성.
