仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2014年
6期
82-85
,共4页
时栅%误差曲线%纳米测量%实验设计
時柵%誤差麯線%納米測量%實驗設計
시책%오차곡선%납미측량%실험설계
time-grating%error curve%nanometer measurement%experimental design
为了研究性能稳定、纳米级精度、大量程的位移测量传感器,提出了一种基于交变电场耦合的纳米时栅位移传感器.根据纳米时栅试验系统要求,设计一套实验基座机构安装定尺,利用虚拟仪器试验平台,设计纳米时栅试验激励信号,利用精密气浮直线导轨系统的高精度,实现纳米时栅动尺的运动控制.试验表明:纳米时栅传感器在200 mm范围内误差为±300 nm.通过超精密试验系统的设计,为纳米时栅传感器特性的研究提供了保障.
為瞭研究性能穩定、納米級精度、大量程的位移測量傳感器,提齣瞭一種基于交變電場耦閤的納米時柵位移傳感器.根據納米時柵試驗繫統要求,設計一套實驗基座機構安裝定呎,利用虛擬儀器試驗平檯,設計納米時柵試驗激勵信號,利用精密氣浮直線導軌繫統的高精度,實現納米時柵動呎的運動控製.試驗錶明:納米時柵傳感器在200 mm範圍內誤差為±300 nm.通過超精密試驗繫統的設計,為納米時柵傳感器特性的研究提供瞭保障.
위료연구성능은정、납미급정도、대량정적위이측량전감기,제출료일충기우교변전장우합적납미시책위이전감기.근거납미시책시험계통요구,설계일투실험기좌궤구안장정척,이용허의의기시험평태,설계납미시책시험격려신호,이용정밀기부직선도궤계통적고정도,실현납미시책동척적운동공제.시험표명:납미시책전감기재200 mm범위내오차위±300 nm.통과초정밀시험계통적설계,위납미시책전감기특성적연구제공료보장.
