仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2014年
6期
16-18,26
,共4页
微加速度开关%低g值%MEMS%双稳态柔性梁
微加速度開關%低g值%MEMS%雙穩態柔性樑
미가속도개관%저g치%MEMS%쌍은태유성량
micro acceleration switch%low value g%MEMS%Bistable flexible beam
设计了一种包含双稳态机制的低g值加速度开关,并采用了MEMS中的多层微电铸技术进行加工.该微加速度开关具有体积小,响应阈值精确,响应速度快,具有闭合保持功能等优点.微加速度开关的结构包括双稳态柔性悬臂梁,可移动质量块和固定触点,其中双稳态柔性悬臂梁的宽度、厚度和长度分别是28.0μm、25.0 μm和5 150.0μm.由于使用了非线性双稳态机制,因此可以通过更加精确的模型来设计加速度开关的触发阈值.经过多次试验表明:器件的触发的加速度阈值是(32.6±0.2)g,可移动质量块的行程距离是530 μm,并且开关在闭合后具有保持功能.
設計瞭一種包含雙穩態機製的低g值加速度開關,併採用瞭MEMS中的多層微電鑄技術進行加工.該微加速度開關具有體積小,響應閾值精確,響應速度快,具有閉閤保持功能等優點.微加速度開關的結構包括雙穩態柔性懸臂樑,可移動質量塊和固定觸點,其中雙穩態柔性懸臂樑的寬度、厚度和長度分彆是28.0μm、25.0 μm和5 150.0μm.由于使用瞭非線性雙穩態機製,因此可以通過更加精確的模型來設計加速度開關的觸髮閾值.經過多次試驗錶明:器件的觸髮的加速度閾值是(32.6±0.2)g,可移動質量塊的行程距離是530 μm,併且開關在閉閤後具有保持功能.
설계료일충포함쌍은태궤제적저g치가속도개관,병채용료MEMS중적다층미전주기술진행가공.해미가속도개관구유체적소,향응역치정학,향응속도쾌,구유폐합보지공능등우점.미가속도개관적결구포괄쌍은태유성현비량,가이동질량괴화고정촉점,기중쌍은태유성현비량적관도、후도화장도분별시28.0μm、25.0 μm화5 150.0μm.유우사용료비선성쌍은태궤제,인차가이통과경가정학적모형래설계가속도개관적촉발역치.경과다차시험표명:기건적촉발적가속도역치시(32.6±0.2)g,가이동질량괴적행정거리시530 μm,병차개관재폐합후구유보지공능.
