仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2014年
6期
4-6
,共3页
陈勇%郭方方%白晓弘%卫亚明%程小莉%赵玉龙
陳勇%郭方方%白曉弘%衛亞明%程小莉%趙玉龍
진용%곽방방%백효홍%위아명%정소리%조옥룡
高温压力传感器%硅隔离%静电键合%波纹膜片%封装
高溫壓力傳感器%硅隔離%靜電鍵閤%波紋膜片%封裝
고온압력전감기%규격리%정전건합%파문막편%봉장
high-temperature pressure sensor%silicon on insulator%packing%anodic bonding%wavy tablets
针对油气田等领域高温高压环境要求,介绍了一种高温压力传感器芯片的设计及研制,设计的高温压力传感器芯片解决了传统压阻式传感器在高温高压环境下的热稳定性问题.通过静电键合封装技术将耐高温SOI压阻芯片与玻璃片在真空环境下封装结合为一体,作为全硅结构的压力传感器的弹性敏感单元,解决高温环境下测量大量程压力的难题.同时,采用高温充硅油技术,用波纹片和高温硅油将被测量介质隔离开来,提高了传感器的适应能力.
針對油氣田等領域高溫高壓環境要求,介紹瞭一種高溫壓力傳感器芯片的設計及研製,設計的高溫壓力傳感器芯片解決瞭傳統壓阻式傳感器在高溫高壓環境下的熱穩定性問題.通過靜電鍵閤封裝技術將耐高溫SOI壓阻芯片與玻璃片在真空環境下封裝結閤為一體,作為全硅結構的壓力傳感器的彈性敏感單元,解決高溫環境下測量大量程壓力的難題.同時,採用高溫充硅油技術,用波紋片和高溫硅油將被測量介質隔離開來,提高瞭傳感器的適應能力.
침대유기전등영역고온고압배경요구,개소료일충고온압력전감기심편적설계급연제,설계적고온압력전감기심편해결료전통압조식전감기재고온고압배경하적열은정성문제.통과정전건합봉장기술장내고온SOI압조심편여파리편재진공배경하봉장결합위일체,작위전규결구적압력전감기적탄성민감단원,해결고온배경하측량대량정압력적난제.동시,채용고온충규유기술,용파문편화고온규유장피측량개질격리개래,제고료전감기적괄응능력.
