工具技术
工具技術
공구기술
TOOL ENGINEERING
2014年
7期
82-83
,共2页
激光干涉仪%精度校准
激光榦涉儀%精度校準
격광간섭의%정도교준
laser interferometer%calibration
激光干涉仪的精度校准受到多种因素影响,是一个复杂的问题.本文讨论了三种激光干涉仪的精度校准方法.为了提高校准精度,应根据实际环境条件选择最合理的校准方法.
激光榦涉儀的精度校準受到多種因素影響,是一箇複雜的問題.本文討論瞭三種激光榦涉儀的精度校準方法.為瞭提高校準精度,應根據實際環境條件選擇最閤理的校準方法.
격광간섭의적정도교준수도다충인소영향,시일개복잡적문제.본문토론료삼충격광간섭의적정도교준방법.위료제고교준정도,응근거실제배경조건선택최합리적교준방법.