CAJ | 학술논문

采用旋涂法进行了Si表面紫外固化胶涂布研究,并压印出了长波红外亚波长结构图形.用激光共聚焦显微镜观察了旋转涂布胶层的表面形貌,测量了表面粗糙度(Ra);用椭圆偏振仪测试了胶层厚度,扫描电子显微镜观察了压印图形的表面形貌,并用扫描探针显微镜测量了压印图形的结构高度.结果显示:当匀胶转速较小(如300 r/min)时,胶层中不会产生气泡及针孔等缺陷,胶层的Ra小,但胶层均匀性差;提高转速可以改善胶层均匀性,但同时胶层中会产生大量气泡和针孔等缺陷,且它们不会随匀胶时间的延长而消除.文中提出用四转速匀胶法来同时解决胶层均匀性和膜层气泡等问题,获得的胶层无气泡,Ra为317 nm时与Si衬底表面相当(324 nm),均匀性(最小厚度值与最大厚度值之比)为89.17％,胶层平均厚度为626 nm.结果表明:四转速涂胶法获得的胶层满足紫外压印长波红外亚波长结构的要求,压印的图形均匀、完整、保真性好.
채용선도법진행료Si표면자외고화효도포연구,병압인출료장파홍외아파장결구도형.용격광공취초현미경관찰료선전도포효층적표면형모,측량료표면조조도(Ra);용타원편진의측시료효층후도,소묘전자현미경관찰료압인도형적표면형모,병용소묘탐침현미경측량료압인도형적결구고도.결과현시:당균효전속교소(여300 r/min)시,효층중불회산생기포급침공등결함,효층적Ra소,단효층균균성차;제고전속가이개선효층균균성,단동시효층중회산생대량기포화침공등결함,차타문불회수균효시간적연장이소제.문중제출용사전속균효법래동시해결효층균균성화막층기포등문제,획득적효층무기포,Ra위317 nm시여Si츤저표면상당(324 nm),균균성(최소후도치여최대후도치지비)위89.17％,효층평균후도위626 nm.결과표명:사전속도효법획득적효층만족자외압인장파홍외아파장결구적요구,압인적도형균균、완정、보진성호.