光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
8期
2142-2150
,共9页
上海同步辐射光源%X射线干涉光刻%偏转镜%结构设计%精度测试
上海同步輻射光源%X射線榦涉光刻%偏轉鏡%結構設計%精度測試
상해동보복사광원%X사선간섭광각%편전경%결구설계%정도측시
Shanghai Synchrotron Radiation Facility%X-ray interference lithography%deflecting mirror%structure design%precision testing
介绍了上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线的基本情况.为实现光束线的光束偏转和光路切换,完成了其偏转镜系统的研制.分析了偏转镜系统的功能,设计了偏转镜的调节机构、切换机构和冷却结构.论述了调节机构的关键运动,即镜箱外直线运动转化为超高真空内旋转运动的实现过程;讨论了切换机构重复精度与承载能力之间的关系,并完成了精密丝杆的校核.采用镜子支撑方式和冷却方式集成的方案设计了冷却结构,并通过数值模拟分析了冷却结构和冷却效果.模拟结果表明镜子子午面形误差和弧矢面形误差分别约为6.5 rad和7 rad.应用激光干涉仪和光电自准直仪对调节机构和切换机构进行了测试,结果表明:调节机构的线性分辨力可达0.2 μm,切换机构的重复精度满足设计要求.
介紹瞭上海光源X射線榦涉光刻(XIL)光束線的基本情況.為實現光束線的光束偏轉和光路切換,完成瞭其偏轉鏡繫統的研製.分析瞭偏轉鏡繫統的功能,設計瞭偏轉鏡的調節機構、切換機構和冷卻結構.論述瞭調節機構的關鍵運動,即鏡箱外直線運動轉化為超高真空內鏇轉運動的實現過程;討論瞭切換機構重複精度與承載能力之間的關繫,併完成瞭精密絲桿的校覈.採用鏡子支撐方式和冷卻方式集成的方案設計瞭冷卻結構,併通過數值模擬分析瞭冷卻結構和冷卻效果.模擬結果錶明鏡子子午麵形誤差和弧矢麵形誤差分彆約為6.5 rad和7 rad.應用激光榦涉儀和光電自準直儀對調節機構和切換機構進行瞭測試,結果錶明:調節機構的線性分辨力可達0.2 μm,切換機構的重複精度滿足設計要求.
개소료상해광원X사선간섭광각(XIL)광속선적기본정황.위실현광속선적광속편전화광로절환,완성료기편전경계통적연제.분석료편전경계통적공능,설계료편전경적조절궤구、절환궤구화냉각결구.논술료조절궤구적관건운동,즉경상외직선운동전화위초고진공내선전운동적실현과정;토론료절환궤구중복정도여승재능력지간적관계,병완성료정밀사간적교핵.채용경자지탱방식화냉각방식집성적방안설계료냉각결구,병통과수치모의분석료냉각결구화냉각효과.모의결과표명경자자오면형오차화호시면형오차분별약위6.5 rad화7 rad.응용격광간섭의화광전자준직의대조절궤구화절환궤구진행료측시,결과표명:조절궤구적선성분변력가체0.2 μm,절환궤구적중복정도만족설계요구.
