光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
8期
2109-2116
,共8页
陈冰%郭兵%赵清亮%饶志敏%姚光
陳冰%郭兵%趙清亮%饒誌敏%姚光
진빙%곽병%조청량%요지민%요광
热压硫化锌透镜%压痕实验%临界切削深度%单颗粒刻划%平面磨削%亚表面损伤%表面质量
熱壓硫化鋅透鏡%壓痕實驗%臨界切削深度%單顆粒刻劃%平麵磨削%亞錶麵損傷%錶麵質量
열압류화자투경%압흔실험%림계절삭심도%단과립각화%평면마삭%아표면손상%표면질량
hot-pressed zinc sulfide lens%micro-indentation experiment%critical cutting thickness%single-point diamond scratching%surface grinding%subsurface damage%surface quality
针对用传统车削或研磨抛光方法加工大尺寸非球面热压硫化锌透镜存在的不足,采用金刚石砂轮磨削加工方法对热压硫化锌材料进行了加工实验.通过压痕、单颗粒金刚石刻划和磨削正交实验,研究了该方法在磨削加工过程中的塑性域去除机理及其亚表面损伤情况,并优化了超精密磨削加工工艺参数.压痕实验发现热压硫化锌材料在载荷作用下易于出现径向裂纹和微裂纹,其断裂韧性为2.643842 MPa/m1/2,临界切削深度为1.808 μm.单颗粒金刚石刻划实验结果表明,热压硫化锌材料在较小的切削深度下可以实现塑性域去除,但在机械去除过程中易出现多种形式的亚表层损伤.磨削实验结果表明,磨削深度是影响表面光洁度的主要因素,随着磨削深度的增大表面光洁度降低,最佳表面粗糙度为7.6 nm.工作台进给速度是影响面形精度的主要因素,且平面磨削的面形精度PV值为0.185～0.395 μm.研究结果表明,磨削加工热压硫化锌材料可以获得纳米级表面粗糙度.
針對用傳統車削或研磨拋光方法加工大呎吋非毬麵熱壓硫化鋅透鏡存在的不足,採用金剛石砂輪磨削加工方法對熱壓硫化鋅材料進行瞭加工實驗.通過壓痕、單顆粒金剛石刻劃和磨削正交實驗,研究瞭該方法在磨削加工過程中的塑性域去除機理及其亞錶麵損傷情況,併優化瞭超精密磨削加工工藝參數.壓痕實驗髮現熱壓硫化鋅材料在載荷作用下易于齣現徑嚮裂紋和微裂紋,其斷裂韌性為2.643842 MPa/m1/2,臨界切削深度為1.808 μm.單顆粒金剛石刻劃實驗結果錶明,熱壓硫化鋅材料在較小的切削深度下可以實現塑性域去除,但在機械去除過程中易齣現多種形式的亞錶層損傷.磨削實驗結果錶明,磨削深度是影響錶麵光潔度的主要因素,隨著磨削深度的增大錶麵光潔度降低,最佳錶麵粗糙度為7.6 nm.工作檯進給速度是影響麵形精度的主要因素,且平麵磨削的麵形精度PV值為0.185～0.395 μm.研究結果錶明,磨削加工熱壓硫化鋅材料可以穫得納米級錶麵粗糙度.
침대용전통차삭혹연마포광방법가공대척촌비구면열압류화자투경존재적불족,채용금강석사륜마삭가공방법대열압류화자재료진행료가공실험.통과압흔、단과립금강석각화화마삭정교실험,연구료해방법재마삭가공과정중적소성역거제궤리급기아표면손상정황,병우화료초정밀마삭가공공예삼수.압흔실험발현열압류화자재료재재하작용하역우출현경향렬문화미렬문,기단렬인성위2.643842 MPa/m1/2,림계절삭심도위1.808 μm.단과립금강석각화실험결과표명,열압류화자재료재교소적절삭심도하가이실현소성역거제,단재궤계거제과정중역출현다충형식적아표층손상.마삭실험결과표명,마삭심도시영향표면광길도적주요인소,수착마삭심도적증대표면광길도강저,최가표면조조도위7.6 nm.공작태진급속도시영향면형정도적주요인소,차평면마삭적면형정도PV치위0.185～0.395 μm.연구결과표명,마삭가공열압류화자재료가이획득납미급표면조조도.
