光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
8期
2103-2108
,共6页
谢耀%于杰%王丽萍%王辉%周烽
謝耀%于傑%王麗萍%王輝%週烽
사요%우걸%왕려평%왕휘%주봉
微缩投影系统%集成装调%计算机辅助装调%敏感度矩阵%奇异值分解
微縮投影繫統%集成裝調%計算機輔助裝調%敏感度矩陣%奇異值分解
미축투영계통%집성장조%계산궤보조장조%민감도구진%기이치분해
reduced projection system%integrated assembly and alignment%computer-aided alignment%sensitivity matrix%singular value decomposition
为了解决主次镜结构的微缩投影系统在计算机辅助装调过程中的补偿器耦合问题,实现补偿器的合理筛选,介绍了一种基于光学系统敏感矩阵奇异值分解的计算机辅助装调算法.建立了微缩投影系统装调模型,针对算法和模型开展了计算机辅助装调实验.用光学软件CODE V建立了光学系统模型,采用零位补偿器检测获得了非球面元件面形;基于灵敏度矩阵的分析结果指导微缩投影系统优化,并将优化后的结构参数作为系统光机结构机械装配和定位的基准.新建立的系统装调模型更接近实际装调过程,能更有效地指导装调,解决了补偿器间的耦合问题,加快了装调过程的收敛.最后,基于自行研发的高精度干涉仪完成了计算机辅助装调实验.实验显示系统波像差由46.39 nmRMS收敛至20.73 nmRMS,验证了装调算法和模型的准确性.
為瞭解決主次鏡結構的微縮投影繫統在計算機輔助裝調過程中的補償器耦閤問題,實現補償器的閤理篩選,介紹瞭一種基于光學繫統敏感矩陣奇異值分解的計算機輔助裝調算法.建立瞭微縮投影繫統裝調模型,針對算法和模型開展瞭計算機輔助裝調實驗.用光學軟件CODE V建立瞭光學繫統模型,採用零位補償器檢測穫得瞭非毬麵元件麵形;基于靈敏度矩陣的分析結果指導微縮投影繫統優化,併將優化後的結構參數作為繫統光機結構機械裝配和定位的基準.新建立的繫統裝調模型更接近實際裝調過程,能更有效地指導裝調,解決瞭補償器間的耦閤問題,加快瞭裝調過程的收斂.最後,基于自行研髮的高精度榦涉儀完成瞭計算機輔助裝調實驗.實驗顯示繫統波像差由46.39 nmRMS收斂至20.73 nmRMS,驗證瞭裝調算法和模型的準確性.
위료해결주차경결구적미축투영계통재계산궤보조장조과정중적보상기우합문제,실현보상기적합리사선,개소료일충기우광학계통민감구진기이치분해적계산궤보조장조산법.건립료미축투영계통장조모형,침대산법화모형개전료계산궤보조장조실험.용광학연건CODE V건립료광학계통모형,채용령위보상기검측획득료비구면원건면형;기우령민도구진적분석결과지도미축투영계통우화,병장우화후적결구삼수작위계통광궤결구궤계장배화정위적기준.신건립적계통장조모형경접근실제장조과정,능경유효지지도장조,해결료보상기간적우합문제,가쾌료장조과정적수렴.최후,기우자행연발적고정도간섭의완성료계산궤보조장조실험.실험현시계통파상차유46.39 nmRMS수렴지20.73 nmRMS,험증료장조산법화모형적준학성.
