光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
8期
2096-2102
,共7页
叶雄英%李子尚%冯金扬%马增帅
葉雄英%李子尚%馮金颺%馬增帥
협웅영%리자상%풍금양%마증수
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)%聚二甲基硅氧烷(PDMS)%亲水改性%溅射%二氧化硅%等离子刻蚀
聚甲基丙烯痠甲酯(PMMA)%聚二甲基硅氧烷(PDMS)%親水改性%濺射%二氧化硅%等離子刻蝕
취갑기병희산갑지(PMMA)%취이갑기규양완(PDMS)%친수개성%천사%이양화규%등리자각식
Polymethyl Methacrylate(PMMA)%Polydimethylsiloxane(PDMS)%hydrophilic modification%sputtering%silicon dioxide%plasma etching
为了提高以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和聚二甲基硅氧烷(PDMS)为材料的微流体通道的浸润性,通过溅射SiO2对PMMA和PDMS进行了表面亲水改性处理.首先,对PMMA和PDMS进行氧等离子刻蚀,改变其表面形貌;然后,溅射SiO2进行表面亲水改性处理,由不同溅射时间得到不同厚度的SiO2薄膜.在亲水处理后一段时间之内对PMMA和PDMS表面分别进行接触角测量,评价不同条件下的改性效果,并对改性后的样片进行黏接性测试.结果表明:氧等离子刻蚀后,溅射时间10 min以上的PMMA表面可在10天内保持极亲水的状态;溅射时间15 min后的PMMA在35天之内接触角不超过10°;PDMS的亲水性可保持10天,接触角不超过60°;高温老化处理能延缓PDMS表面疏水性的恢复.实验结果显示:氧等离子刻蚀之后,溅射SiO2的方法可使PMMA和PDMS获得较长时间的表面亲水改性效果.另外,亲水改性处理后的PDMS之间仍可实现有效黏接,改性PMMA与未改性PDMS也能有效黏接.
為瞭提高以聚甲基丙烯痠甲酯(PMMA)和聚二甲基硅氧烷(PDMS)為材料的微流體通道的浸潤性,通過濺射SiO2對PMMA和PDMS進行瞭錶麵親水改性處理.首先,對PMMA和PDMS進行氧等離子刻蝕,改變其錶麵形貌;然後,濺射SiO2進行錶麵親水改性處理,由不同濺射時間得到不同厚度的SiO2薄膜.在親水處理後一段時間之內對PMMA和PDMS錶麵分彆進行接觸角測量,評價不同條件下的改性效果,併對改性後的樣片進行黏接性測試.結果錶明:氧等離子刻蝕後,濺射時間10 min以上的PMMA錶麵可在10天內保持極親水的狀態;濺射時間15 min後的PMMA在35天之內接觸角不超過10°;PDMS的親水性可保持10天,接觸角不超過60°;高溫老化處理能延緩PDMS錶麵疏水性的恢複.實驗結果顯示:氧等離子刻蝕之後,濺射SiO2的方法可使PMMA和PDMS穫得較長時間的錶麵親水改性效果.另外,親水改性處理後的PDMS之間仍可實現有效黏接,改性PMMA與未改性PDMS也能有效黏接.
위료제고이취갑기병희산갑지(PMMA)화취이갑기규양완(PDMS)위재료적미류체통도적침윤성,통과천사SiO2대PMMA화PDMS진행료표면친수개성처리.수선,대PMMA화PDMS진행양등리자각식,개변기표면형모;연후,천사SiO2진행표면친수개성처리,유불동천사시간득도불동후도적SiO2박막.재친수처리후일단시간지내대PMMA화PDMS표면분별진행접촉각측량,평개불동조건하적개성효과,병대개성후적양편진행점접성측시.결과표명:양등리자각식후,천사시간10 min이상적PMMA표면가재10천내보지겁친수적상태;천사시간15 min후적PMMA재35천지내접촉각불초과10°;PDMS적친수성가보지10천,접촉각불초과60°;고온노화처리능연완PDMS표면소수성적회복.실험결과현시:양등리자각식지후,천사SiO2적방법가사PMMA화PDMS획득교장시간적표면친수개성효과.령외,친수개성처리후적PDMS지간잉가실현유효점접,개성PMMA여미개성PDMS야능유효점접.
