光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
8期
2047-2053
,共7页
马剑强%刘莹%陈俊杰%李保庆%褚家如
馬劍彊%劉瑩%陳俊傑%李保慶%褚傢如
마검강%류형%진준걸%리보경%저가여
压电变形镜%硅基变形镜%自适应光学%天文望远镜
壓電變形鏡%硅基變形鏡%自適應光學%天文望遠鏡
압전변형경%규기변형경%자괄응광학%천문망원경
piezoelectric deformable mirror%Si-based deformable mirror%adaptive optics%telescope
针对天文望远镜对变形镜的需求,设计了200单元级硅基单压电变形镜并对其进行了性能测试.首先,通过有限元方法对单压电变形镜进行结构建模,分析比较了电极排列形式和边界支撑方式对变形镜性能的影响.然后,制备了3款200单元变形镜样机(环形简支,环形固支,六边形简支).最后,利用干涉仪测量了变形镜的影响函数,并通过激光多普勒测振仪测量其频响特性.仿真与实验结果表明:致动器在50 V电压下变形量可达1μm,固支条件下谐振频率在1 kHz左右,对前100项Zernike像差具有良好的校正能力.该变形镜在低成本天文自适应光学系统中具有应用潜力.
針對天文望遠鏡對變形鏡的需求,設計瞭200單元級硅基單壓電變形鏡併對其進行瞭性能測試.首先,通過有限元方法對單壓電變形鏡進行結構建模,分析比較瞭電極排列形式和邊界支撐方式對變形鏡性能的影響.然後,製備瞭3款200單元變形鏡樣機(環形簡支,環形固支,六邊形簡支).最後,利用榦涉儀測量瞭變形鏡的影響函數,併通過激光多普勒測振儀測量其頻響特性.倣真與實驗結果錶明:緻動器在50 V電壓下變形量可達1μm,固支條件下諧振頻率在1 kHz左右,對前100項Zernike像差具有良好的校正能力.該變形鏡在低成本天文自適應光學繫統中具有應用潛力.
침대천문망원경대변형경적수구,설계료200단원급규기단압전변형경병대기진행료성능측시.수선,통과유한원방법대단압전변형경진행결구건모,분석비교료전겁배렬형식화변계지탱방식대변형경성능적영향.연후,제비료3관200단원변형경양궤(배형간지,배형고지,륙변형간지).최후,이용간섭의측량료변형경적영향함수,병통과격광다보륵측진의측량기빈향특성.방진여실험결과표명:치동기재50 V전압하변형량가체1μm,고지조건하해진빈솔재1 kHz좌우,대전100항Zernike상차구유량호적교정능력.해변형경재저성본천문자괄응광학계통중구유응용잠력.
