光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
8期
2039-2046
,共8页
李晓天%齐向东%于海利%高键翔%冯树龙%巴音贺希格
李曉天%齊嚮東%于海利%高鍵翔%馮樹龍%巴音賀希格
리효천%제향동%우해리%고건상%풍수룡%파음하희격
平面光栅%光栅刻线%摆角修正%衍射波前%压电执行器
平麵光柵%光柵刻線%襬角脩正%衍射波前%壓電執行器
평면광책%광책각선%파각수정%연사파전%압전집행기
plane grating%grating line%yaw-angle correction%diffraction wavefront%piezoelectric actuator
考虑机械刻划光栅刻线摆角对平面光栅衍射波前质量的影响,本文根据光栅机械刻划过程的特点,提出了一种单压电执行器调节方法.该方法可通过不断调节微定位工作台位移,实时修正工作台摆角导致的光栅刻线摆角误差.首先,推导出了微定位工作台位移实时修正公式.接着,采用三路干涉仪实现了微定位工作台摆角测量及其主要成分分析.最后,进行了光栅刻线摆角放大和校正实验.结果显示,摆角放大和摆角校正实验已基本达到了预期的效果,对光栅宽度为10.4 mm且刻线密度为600 line/mm的光栅进行修正后,光栅刻线摆角比校正前降低了64％以上.这些结果表明:采用单压电执行器方法对光栅刻线摆角进行实时修正可有效降低光栅刻线摆角,提高光栅质量;该方法可应用于大面积机械刻划光栅刻线摆角的修正.
攷慮機械刻劃光柵刻線襬角對平麵光柵衍射波前質量的影響,本文根據光柵機械刻劃過程的特點,提齣瞭一種單壓電執行器調節方法.該方法可通過不斷調節微定位工作檯位移,實時脩正工作檯襬角導緻的光柵刻線襬角誤差.首先,推導齣瞭微定位工作檯位移實時脩正公式.接著,採用三路榦涉儀實現瞭微定位工作檯襬角測量及其主要成分分析.最後,進行瞭光柵刻線襬角放大和校正實驗.結果顯示,襬角放大和襬角校正實驗已基本達到瞭預期的效果,對光柵寬度為10.4 mm且刻線密度為600 line/mm的光柵進行脩正後,光柵刻線襬角比校正前降低瞭64％以上.這些結果錶明:採用單壓電執行器方法對光柵刻線襬角進行實時脩正可有效降低光柵刻線襬角,提高光柵質量;該方法可應用于大麵積機械刻劃光柵刻線襬角的脩正.
고필궤계각화광책각선파각대평면광책연사파전질량적영향,본문근거광책궤계각화과정적특점,제출료일충단압전집행기조절방법.해방법가통과불단조절미정위공작태위이,실시수정공작태파각도치적광책각선파각오차.수선,추도출료미정위공작태위이실시수정공식.접착,채용삼로간섭의실현료미정위공작태파각측량급기주요성분분석.최후,진행료광책각선파각방대화교정실험.결과현시,파각방대화파각교정실험이기본체도료예기적효과,대광책관도위10.4 mm차각선밀도위600 line/mm적광책진행수정후,광책각선파각비교정전강저료64％이상.저사결과표명:채용단압전집행기방법대광책각선파각진행실시수정가유효강저광책각선파각,제고광책질량;해방법가응용우대면적궤계각화광책각선파각적수정.
