光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
8期
2007-2013
,共7页
刘江%苗二龙%曲艺%隋永新%杨怀江
劉江%苗二龍%麯藝%隋永新%楊懷江
류강%묘이룡%곡예%수영신%양부강
菲佐干涉仪%波长移相%移相算法%光强自标定%面形检测
菲佐榦涉儀%波長移相%移相算法%光彊自標定%麵形檢測
비좌간섭의%파장이상%이상산법%광강자표정%면형검측
Fizeau interferometer%wavelength phase-shifting%phase-shifting algorithm%intensity self-calibration%surface measurement
考虑菲佐型波长移相干涉仪中波长可调谐激光器光强与调节电压之间的关系会对相位计算精度造成影响,本文提出了一种基于光强自标定的波长移相算法.首先,分析了波长可调谐激光器调节电压与输出光强之间的关系,建立了数学模型;然后,依据最小二乘判据,推导出了波长移相干涉仪的光强自标定移相算法.最后,实施了仿真实验,通过计算机生成背景光强具有一定变化的12幅干涉图,利用所提出的算法进行了相位恢复.结果表明,提出的算法可以很好地免疫激光器的光强变化,实现高精度的相位恢复.对口径为100 mm的平面镜的测量结果显示RMS为0.005λ,PV为0.073λ.与ZYGO干涉仪测量结果的比较显示,两次测量面形的偏差RMS为0.0014λ,PV为0.022λ.得到的结果证明了算法的可行性及在菲佐型波长移相干涉仪中的实用性.
攷慮菲佐型波長移相榦涉儀中波長可調諧激光器光彊與調節電壓之間的關繫會對相位計算精度造成影響,本文提齣瞭一種基于光彊自標定的波長移相算法.首先,分析瞭波長可調諧激光器調節電壓與輸齣光彊之間的關繫,建立瞭數學模型;然後,依據最小二乘判據,推導齣瞭波長移相榦涉儀的光彊自標定移相算法.最後,實施瞭倣真實驗,通過計算機生成揹景光彊具有一定變化的12幅榦涉圖,利用所提齣的算法進行瞭相位恢複.結果錶明,提齣的算法可以很好地免疫激光器的光彊變化,實現高精度的相位恢複.對口徑為100 mm的平麵鏡的測量結果顯示RMS為0.005λ,PV為0.073λ.與ZYGO榦涉儀測量結果的比較顯示,兩次測量麵形的偏差RMS為0.0014λ,PV為0.022λ.得到的結果證明瞭算法的可行性及在菲佐型波長移相榦涉儀中的實用性.
고필비좌형파장이상간섭의중파장가조해격광기광강여조절전압지간적관계회대상위계산정도조성영향,본문제출료일충기우광강자표정적파장이상산법.수선,분석료파장가조해격광기조절전압여수출광강지간적관계,건립료수학모형;연후,의거최소이승판거,추도출료파장이상간섭의적광강자표정이상산법.최후,실시료방진실험,통과계산궤생성배경광강구유일정변화적12폭간섭도,이용소제출적산법진행료상위회복.결과표명,제출적산법가이흔호지면역격광기적광강변화,실현고정도적상위회복.대구경위100 mm적평면경적측량결과현시RMS위0.005λ,PV위0.073λ.여ZYGO간섭의측량결과적비교현시,량차측량면형적편차RMS위0.0014λ,PV위0.022λ.득도적결과증명료산법적가행성급재비좌형파장이상간섭의중적실용성.
