组合机床与自动化加工技术
組閤機床與自動化加工技術
조합궤상여자동화가공기술
MODULAR MACHINE TOOL & AUTOMATIC MANUFACTURING TECHNIQUE
2014年
7期
88-90
,共3页
吉方%陈东生%徐敏%戴晓静
吉方%陳東生%徐敏%戴曉靜
길방%진동생%서민%대효정
离子源%高真空环境%驱动控制%稳定性
離子源%高真空環境%驅動控製%穩定性
리자원%고진공배경%구동공제%은정성
ion source%high vacuum environment%driven control%stability
介绍了六自由度离子束抛光机床控制系统的总体构架.重点对控制系统研制过程中的关键问题进行探讨,包括特殊真空环境下的驱动控制措施、高真空抽取及稳定性控制方法以及离子源参数的稳定性控制策略.
介紹瞭六自由度離子束拋光機床控製繫統的總體構架.重點對控製繫統研製過程中的關鍵問題進行探討,包括特殊真空環境下的驅動控製措施、高真空抽取及穩定性控製方法以及離子源參數的穩定性控製策略.
개소료륙자유도리자속포광궤상공제계통적총체구가.중점대공제계통연제과정중적관건문제진행탐토,포괄특수진공배경하적구동공제조시、고진공추취급은정성공제방법이급리자원삼수적은정성공제책략.
