山西冶金
山西冶金
산서야금
SHANXI METALLURGY
2014年
4期
13-14,17
,共3页
粉末冶金法%高纯溅射铬靶材%方法
粉末冶金法%高純濺射鉻靶材%方法
분말야금법%고순천사락파재%방법
通过试验重点对粉末冶金法制备高纯溅射铬靶材的传统烧结工艺进行了分析和优化研究.试验结果表明,采用“模压+烧结”或者“冷等静压+烧结”的方式加工靶材,并合理控制烧结温度,能够有效保证靶材的密度.
通過試驗重點對粉末冶金法製備高純濺射鉻靶材的傳統燒結工藝進行瞭分析和優化研究.試驗結果錶明,採用“模壓+燒結”或者“冷等靜壓+燒結”的方式加工靶材,併閤理控製燒結溫度,能夠有效保證靶材的密度.
통과시험중점대분말야금법제비고순천사락파재적전통소결공예진행료분석화우화연구.시험결과표명,채용“모압+소결”혹자“랭등정압+소결”적방식가공파재,병합리공제소결온도,능구유효보증파재적밀도.
