中国有色冶金
中國有色冶金
중국유색야금
CHINA NONFERROUS METALLURGY
2014年
4期
47-50
,共4页
多晶硅%二氯二氢硅%生产%利用
多晶硅%二氯二氫硅%生產%利用
다정규%이록이경규%생산%이용
简单介绍了二氯二氢硅的生产方法,以1 000 t多晶硅生产系统为例,计算出还原工序、四氯化硅氢化工序、三氯氢硅合成工序以及整个系统二氯二氢硅的生成量,对多晶硅系统副产二氯二氢硅的利用进行了讨论.
簡單介紹瞭二氯二氫硅的生產方法,以1 000 t多晶硅生產繫統為例,計算齣還原工序、四氯化硅氫化工序、三氯氫硅閤成工序以及整箇繫統二氯二氫硅的生成量,對多晶硅繫統副產二氯二氫硅的利用進行瞭討論.
간단개소료이록이경규적생산방법,이1 000 t다정규생산계통위례,계산출환원공서、사록화규경화공서、삼록경규합성공서이급정개계통이록이경규적생성량,대다정규계통부산이록이경규적이용진행료토론.
