河北科技大学学报
河北科技大學學報
하북과기대학학보
JOURNAL OF THE HEBEI UNIVERSITY OF SCIENCE AND ECHNOLOGY
2014年
4期
324-329
,共6页
谢爱云%黄雅婷%冯涛%董秀萍
謝愛雲%黃雅婷%馮濤%董秀萍
사애운%황아정%풍도%동수평
兆声清洗%纳米颗粒%声场%计算机仿真
兆聲清洗%納米顆粒%聲場%計算機倣真
조성청세%납미과립%성장%계산궤방진
megasonic cleaning%nano-particle%acoustic field%computer simulation
高频超声乃至兆声清洗广泛应用于半导体器件的超精密清洗,可以有效去除纳米颗粒污染.其中,声能在声场中的分布决定了清洗效果,包括去除均匀性和清洗对象破坏.对于矩形清洗槽内的声场分布,采用简正分解理论直接求解声压分布.结果表明,兆声声能集中于声源辐射轴所在的局部区域,声压波腹和波节分布反映声源振动面形状,而超声波声能扩散至全声场.采用水听器对超声波声场声压分布进行测量,与理论结果相符.由于截断误差和非线性空化误差的存在,理论值小于实验测量结果.
高頻超聲迺至兆聲清洗廣汎應用于半導體器件的超精密清洗,可以有效去除納米顆粒汙染.其中,聲能在聲場中的分佈決定瞭清洗效果,包括去除均勻性和清洗對象破壞.對于矩形清洗槽內的聲場分佈,採用簡正分解理論直接求解聲壓分佈.結果錶明,兆聲聲能集中于聲源輻射軸所在的跼部區域,聲壓波腹和波節分佈反映聲源振動麵形狀,而超聲波聲能擴散至全聲場.採用水聽器對超聲波聲場聲壓分佈進行測量,與理論結果相符.由于截斷誤差和非線性空化誤差的存在,理論值小于實驗測量結果.
고빈초성내지조성청세엄범응용우반도체기건적초정밀청세,가이유효거제납미과립오염.기중,성능재성장중적분포결정료청세효과,포괄거제균균성화청세대상파배.대우구형청세조내적성장분포,채용간정분해이론직접구해성압분포.결과표명,조성성능집중우성원복사축소재적국부구역,성압파복화파절분포반영성원진동면형상,이초성파성능확산지전성장.채용수은기대초성파성장성압분포진행측량,여이론결과상부.유우절단오차화비선성공화오차적존재,이론치소우실험측량결과.
