高电压技术
高電壓技術
고전압기술
HIGH VOLTAGE ENGINEERING
2014年
7期
2150-2155
,共6页
王秉哲%刘振%黄逸凡%闫克平
王秉哲%劉振%黃逸凡%閆剋平
왕병철%류진%황일범%염극평
真空%大体积等离子体%脉冲%平行板电极%放电起始电压%功率密度
真空%大體積等離子體%脈遲%平行闆電極%放電起始電壓%功率密度
진공%대체적등리자체%맥충%평행판전겁%방전기시전압%공솔밀도
vacuum%large-volume plasma%pulsed power source%parallel plate electrodes%inception voltage%power density
低气压大体积的均匀等离子体在材料处理、催化剂的活化和再生等领域有很好的应用前景.为研究理想的低气压大体积等离子体发生装置,在自制的真空反应器中采用平行板电极,在10～100 Pa的气压下,利用脉冲宽度小于50 μs、峰值电压小于3 kV、频率50～104 Hz的双极性脉冲源,发生了最大体积约为21 L的均匀等离子体.对放电时反应器的电压电流波形进行了测试,获得在不同压强的空气、氧气、氩气介质,不同的电极间距下,放电的起始电压,以及空气中等离子体功率随气体压强、电极间距、极板面积、脉冲频率及电压峰值等不同参数变化的数量关系.结果表明:在3种介质中均获得了大体积均匀等离子体,最大体积为21L,且空气中气压＜50 Pa时,生成等离子体的均匀性和放电的稳定性较好;在20～100 Pa的空气中,电极间距为10～30 cm时,放电起始电压随着气压和电极间距增大而增大;放电的功率密度与极板面积无关,随气压、脉冲频率、电压的增大而增大,随电极间距的增大而减小.
低氣壓大體積的均勻等離子體在材料處理、催化劑的活化和再生等領域有很好的應用前景.為研究理想的低氣壓大體積等離子體髮生裝置,在自製的真空反應器中採用平行闆電極,在10～100 Pa的氣壓下,利用脈遲寬度小于50 μs、峰值電壓小于3 kV、頻率50～104 Hz的雙極性脈遲源,髮生瞭最大體積約為21 L的均勻等離子體.對放電時反應器的電壓電流波形進行瞭測試,穫得在不同壓彊的空氣、氧氣、氬氣介質,不同的電極間距下,放電的起始電壓,以及空氣中等離子體功率隨氣體壓彊、電極間距、極闆麵積、脈遲頻率及電壓峰值等不同參數變化的數量關繫.結果錶明:在3種介質中均穫得瞭大體積均勻等離子體,最大體積為21L,且空氣中氣壓＜50 Pa時,生成等離子體的均勻性和放電的穩定性較好;在20～100 Pa的空氣中,電極間距為10～30 cm時,放電起始電壓隨著氣壓和電極間距增大而增大;放電的功率密度與極闆麵積無關,隨氣壓、脈遲頻率、電壓的增大而增大,隨電極間距的增大而減小.
저기압대체적적균균등리자체재재료처리、최화제적활화화재생등영역유흔호적응용전경.위연구이상적저기압대체적등리자체발생장치,재자제적진공반응기중채용평행판전겁,재10～100 Pa적기압하,이용맥충관도소우50 μs、봉치전압소우3 kV、빈솔50～104 Hz적쌍겁성맥충원,발생료최대체적약위21 L적균균등리자체.대방전시반응기적전압전류파형진행료측시,획득재불동압강적공기、양기、아기개질,불동적전겁간거하,방전적기시전압,이급공기중등리자체공솔수기체압강、전겁간거、겁판면적、맥충빈솔급전압봉치등불동삼수변화적수량관계.결과표명:재3충개질중균획득료대체적균균등리자체,최대체적위21L,차공기중기압＜50 Pa시,생성등리자체적균균성화방전적은정성교호;재20～100 Pa적공기중,전겁간거위10～30 cm시,방전기시전압수착기압화전겁간거증대이증대;방전적공솔밀도여겁판면적무관,수기압、맥충빈솔、전압적증대이증대,수전겁간거적증대이감소.
