太赫兹科学与电子信息学报
太赫玆科學與電子信息學報
태혁자과학여전자신식학보
Information and Electronic Engineering
2014年
4期
622-626
,共5页
张照云%施志贵%张慧%彭勃
張照雲%施誌貴%張慧%彭勃
장조운%시지귀%장혜%팽발
微机电系统%单片集成%微惯性器件%表面微机械加工%体硅微机械加工
微機電繫統%單片集成%微慣性器件%錶麵微機械加工%體硅微機械加工
미궤전계통%단편집성%미관성기건%표면미궤계가공%체규미궤계가공
Micro-Electro-Mechanical Systems(MEMS)%monolithic integration%micro-inertial devices%surface micromachining%bulk micromachining
讨论了高性能微惯性器件单片集成技术。首先对单片集成 MEMS 技术的优势及面临的困难进行了讨论，并对目前主流的单片集成 MEMS 技术特点、工艺流程进行了介绍，最后，给出高性能微惯性器件单片集成技术的未来发展趋势。
討論瞭高性能微慣性器件單片集成技術。首先對單片集成 MEMS 技術的優勢及麵臨的睏難進行瞭討論，併對目前主流的單片集成 MEMS 技術特點、工藝流程進行瞭介紹，最後，給齣高性能微慣性器件單片集成技術的未來髮展趨勢。
토론료고성능미관성기건단편집성기술。수선대단편집성 MEMS 기술적우세급면림적곤난진행료토론，병대목전주류적단편집성 MEMS 기술특점、공예류정진행료개소，최후，급출고성능미관성기건단편집성기술적미래발전추세。
The-monolithic-integration-technology-of-high-performance-micro-inertial-device-is-presented.-Firstly,-the-advantages-and-difficulties-faced-by-the-technology-of-monolithic-integration-MEMS(Micro-Electro-Mechanical-Systems)-are-discussed.-Secondly,-the-features-and-the-process-of-the-mainstream-monolithic-integration-MEMS-technology-are-introduced.-Finally,-a-forecast-is-put-forward-on-the-future-trends-of-high-performance-micro-inertial-device.
