CAJ | 학술논문

万方数据

中国化工贸易 중국화공무역
CHINA CHEMICAL TRADE
2014年 25期 151-152 ,共2页

尹敏%程远梅%童孟尹敏%程遠梅%童孟

윤민%정원매%동맹

多晶硅%碳杂质%甲烷%甲基氯硅烷多晶硅%碳雜質%甲烷%甲基氯硅烷
다정규%탄잡질%갑완%갑기록규완

本文简述了多晶硅生产过程中碳杂质的主要来源：甲烷和甲基氯硅烷，对合成炉、冷氢化两种工艺生成甲基氯硅烷进行了对比，并提出了生产中控制碳杂质的方法。
본문간술료다정규생산과정중탄잡질적주요래원：갑완화갑기록규완，대합성로、랭경화량충공예생성갑기록규완진행료대비，병제출료생산중공제탄잡질적방법。