计测技术
計測技術
계측기술
METROLOGY & MEASUREMENT TECHNOLOGY
2014年
z1期
77-80
,共4页
张礼%赵志桓%曲建飞%王传超%裘南畹
張禮%趙誌桓%麯建飛%王傳超%裘南畹
장례%조지환%곡건비%왕전초%구남원
粉末溅射%气敏元件%光刻%稳定性
粉末濺射%氣敏元件%光刻%穩定性
분말천사%기민원건%광각%은정성
powder sputtering%gas sensor%lithographing%stability
指出了薄膜元件能否实用化的关键在气敏层的稳定性;提出了粉末溅射和高能溅射是气敏层稳定性的保证。指出了能实用化的薄膜元件是否能生产还要有较高的成品率,这就要求对晶体管光刻工艺进行改造和发展。给出了SnO2/16%CeO2,ZnO/1%CeO2,Fe2 O3/2%CeO2,TiO2/2%CeO2,ZnSnO3( ZnO +SnO2)元件的气敏特性。
指齣瞭薄膜元件能否實用化的關鍵在氣敏層的穩定性;提齣瞭粉末濺射和高能濺射是氣敏層穩定性的保證。指齣瞭能實用化的薄膜元件是否能生產還要有較高的成品率,這就要求對晶體管光刻工藝進行改造和髮展。給齣瞭SnO2/16%CeO2,ZnO/1%CeO2,Fe2 O3/2%CeO2,TiO2/2%CeO2,ZnSnO3( ZnO +SnO2)元件的氣敏特性。
지출료박막원건능부실용화적관건재기민층적은정성;제출료분말천사화고능천사시기민층은정성적보증。지출료능실용화적박막원건시부능생산환요유교고적성품솔,저취요구대정체관광각공예진행개조화발전。급출료SnO2/16%CeO2,ZnO/1%CeO2,Fe2 O3/2%CeO2,TiO2/2%CeO2,ZnSnO3( ZnO +SnO2)원건적기민특성。
It suggests that the stability of gas sensing film is the key to get applicable thin film sensor;and it puts forward that powder sput-tered and high energy sputtered process may assure the stability. High yield is required to produce the applicable thin film sensor and it needs to improve and develop transistor lithography process. The gas sensing property of SnO2/16%CeO2 ,ZnO/1%CeO2 ,Fe2 O3/2%CeO2 ,TiO2/2%CeO2 ,ZnSnO3 ( ZnO+SnO2 )is given.