传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2014年
8期
80-82,86
,共4页
赵以贵%李维龙%张森
趙以貴%李維龍%張森
조이귀%리유룡%장삼
声表面波%气体传感器%甲基膦酸二甲酯%巯基十一酸
聲錶麵波%氣體傳感器%甲基膦痠二甲酯%巰基十一痠
성표면파%기체전감기%갑기련산이갑지%구기십일산
surface acoustic wave( SAW)%gas sensor%DMMP%MUA
阐述了声表面波（ SAW）甲基膦酸二甲酯（ DMMP）气体传感器的设计和制作过程。为提高探测灵敏度和选择性，主要考虑了SAW振荡器的频率稳定性，敏感材料巯基十一酸（ MUA ）采用了分子自组装成膜方式和Cu2＋化学修饰。实验结果显示：在1～100 mg/m3的浓度范围内具有好的线性度和21 Hz/mg/cm3的灵敏度。
闡述瞭聲錶麵波（ SAW）甲基膦痠二甲酯（ DMMP）氣體傳感器的設計和製作過程。為提高探測靈敏度和選擇性，主要攷慮瞭SAW振盪器的頻率穩定性，敏感材料巰基十一痠（ MUA ）採用瞭分子自組裝成膜方式和Cu2＋化學脩飾。實驗結果顯示：在1～100 mg/m3的濃度範圍內具有好的線性度和21 Hz/mg/cm3的靈敏度。
천술료성표면파（ SAW）갑기련산이갑지（ DMMP）기체전감기적설계화제작과정。위제고탐측령민도화선택성，주요고필료SAW진탕기적빈솔은정성，민감재료구기십일산（ MUA ）채용료분자자조장성막방식화Cu2＋화학수식。실험결과현시：재1～100 mg/m3적농도범위내구유호적선성도화21 Hz/mg/cm3적령민도。
Design and fabrication process of surface acoustic wave( SAW ) gas sensor for dimethyl-methyl-phosphonate( DMMP)detection is presented . To improve detection sensitivity and selectivity,frequency stability of SAW oscillator is considered carefully,and the 11-mercaptoundecanoic acid( MUA ) adopts molecule self-assembled technology and chenically modified by Cu2+. Experimental result shows good linearity and the superior sensitivity of 21 Hz/mg/cm3 at concentration range of 1~100 mg/m3 .
