科技创新导报
科技創新導報
과기창신도보
SCIENCE AND TECHNOLOGY CONSULTING HERALD
2014年
17期
57-58
,共2页
许贵平%刘卫%高三杰
許貴平%劉衛%高三傑
허귀평%류위%고삼걸
氦质谱检漏%背压法%预抽真空系统
氦質譜檢漏%揹壓法%預抽真空繫統
양질보검루%배압법%예추진공계통
工程应用中需开展背压法氦质谱检测系统展开研究和设计开发，设计内容主要包括氦质谱检漏仪技术参数确定、预抽真空系统设计、真空容器设计以及控制系统设计等，对氦质谱检测系统的仪器灵敏度、系统灵敏度及系统反应时间等性能参数进行了测定，结果表明检测系统具有检测灵敏度高和检测效率高等优点，满足使用要求。
工程應用中需開展揹壓法氦質譜檢測繫統展開研究和設計開髮，設計內容主要包括氦質譜檢漏儀技術參數確定、預抽真空繫統設計、真空容器設計以及控製繫統設計等，對氦質譜檢測繫統的儀器靈敏度、繫統靈敏度及繫統反應時間等性能參數進行瞭測定，結果錶明檢測繫統具有檢測靈敏度高和檢測效率高等優點，滿足使用要求。
공정응용중수개전배압법양질보검측계통전개연구화설계개발，설계내용주요포괄양질보검루의기술삼수학정、예추진공계통설계、진공용기설계이급공제계통설계등，대양질보검측계통적의기령민도、계통령민도급계통반응시간등성능삼수진행료측정，결과표명검측계통구유검측령민도고화검측효솔고등우점，만족사용요구。
