实验室科学
實驗室科學
실험실과학
LABORATORY SCIENCE
2014年
4期
17-18,22
,共3页
王文静%孙鑫%张红梅%李兴元%陈海良%丁喜峰
王文靜%孫鑫%張紅梅%李興元%陳海良%丁喜峰
왕문정%손흠%장홍매%리흥원%진해량%정희봉
金刚石(薄膜)%CVD%气源浓度%晶面取向
金剛石(薄膜)%CVD%氣源濃度%晶麵取嚮
금강석(박막)%CVD%기원농도%정면취향
以甲烷、氢气做为气源,利用微波等离子气相沉积的方法在硅片上沉积金刚石薄膜.研究了不同浓度的甲烷对金刚石薄膜形貌和晶向的影响.结果表明:当甲烷浓度为2.44％时,金刚石薄膜晶粒尺寸小,晶形较差,晶面取向以(111)、(220)面为主;甲烷浓度为0.50％时,金刚石薄膜晶粒尺寸较大,晶粒棱角分明,晶面取向以(111)面为主.
以甲烷、氫氣做為氣源,利用微波等離子氣相沉積的方法在硅片上沉積金剛石薄膜.研究瞭不同濃度的甲烷對金剛石薄膜形貌和晶嚮的影響.結果錶明:噹甲烷濃度為2.44％時,金剛石薄膜晶粒呎吋小,晶形較差,晶麵取嚮以(111)、(220)麵為主;甲烷濃度為0.50％時,金剛石薄膜晶粒呎吋較大,晶粒稜角分明,晶麵取嚮以(111)麵為主.
이갑완、경기주위기원,이용미파등리자기상침적적방법재규편상침적금강석박막.연구료불동농도적갑완대금강석박막형모화정향적영향.결과표명:당갑완농도위2.44％시,금강석박막정립척촌소,정형교차,정면취향이(111)、(220)면위주;갑완농도위0.50％시,금강석박막정립척촌교대,정립릉각분명,정면취향이(111)면위주.
