电子测量技术
電子測量技術
전자측량기술
ELECTRONIC MEASUREMENT TECHNOLOGY
2014年
8期
117-122
,共6页
章亚男%葛磐%王成刚%钱晋武%沈林勇
章亞男%葛磐%王成剛%錢晉武%瀋林勇
장아남%갈반%왕성강%전진무%침림용
光栅拼接%纳米定位%驱动器%误差分析%实验测试
光柵拼接%納米定位%驅動器%誤差分析%實驗測試
광책병접%납미정위%구동기%오차분석%실험측시
grating tiling%nano-positioning%actuator%error analysis%experimental test
为了满足大尺寸衍射光栅拼接调整架精密调整的需求,设计了一种机械式微位移驱动器,它能够实现十几mm的大行程和纳米量级的定位精度.根据驱动器各零部件的性能参数和技术指标,分析计算了影响驱动器运动分辨率的因素及其大小.通过对机构爬行现象的分析,近似计算出由于导轨间动静摩擦系数不同导致的爬行量的大小.实验测试结果显示,驱动器的运动分辨率可达到10nm,运动过程中具有很好的重复性,而且驱动器可以长时间保持很好的稳定性.该研究结论对后期光栅调整架的设计具有很大的参考价值.
為瞭滿足大呎吋衍射光柵拼接調整架精密調整的需求,設計瞭一種機械式微位移驅動器,它能夠實現十幾mm的大行程和納米量級的定位精度.根據驅動器各零部件的性能參數和技術指標,分析計算瞭影響驅動器運動分辨率的因素及其大小.通過對機構爬行現象的分析,近似計算齣由于導軌間動靜摩抆繫數不同導緻的爬行量的大小.實驗測試結果顯示,驅動器的運動分辨率可達到10nm,運動過程中具有很好的重複性,而且驅動器可以長時間保持很好的穩定性.該研究結論對後期光柵調整架的設計具有很大的參攷價值.
위료만족대척촌연사광책병접조정가정밀조정적수구,설계료일충궤계식미위이구동기,타능구실현십궤mm적대행정화납미량급적정위정도.근거구동기각령부건적성능삼수화기술지표,분석계산료영향구동기운동분변솔적인소급기대소.통과대궤구파행현상적분석,근사계산출유우도궤간동정마찰계수불동도치적파행량적대소.실험측시결과현시,구동기적운동분변솔가체도10nm,운동과정중구유흔호적중복성,이차구동기가이장시간보지흔호적은정성.해연구결론대후기광책조정가적설계구유흔대적삼고개치.
