厦门大学学报（自然科学版）
廈門大學學報（自然科學版）
하문대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIAMEN UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2014年
4期
496-501
,共6页
三轴%高g%压阻%微加速度计%仿真
三軸%高g%壓阻%微加速度計%倣真
삼축%고g%압조%미가속도계%방진
triaxial%high-g%piezoresistive%microaccelerometer%simulation
提出了一种三轴高g的压阻式微加速度计的设计方法.通过理论推导和计算,分析了模型的应力和频率,得到了具有较高频率的高g微加速度计的结构参数.通过有限元软件ANSYS分析确定了在获得高输出电压条件下的电阻布置方案.在此基础上,对三轴进行了200 000 g载荷下的性能研究,结果表明所设计的微加速度计具有较高的灵敏度和线性度.
提齣瞭一種三軸高g的壓阻式微加速度計的設計方法.通過理論推導和計算,分析瞭模型的應力和頻率,得到瞭具有較高頻率的高g微加速度計的結構參數.通過有限元軟件ANSYS分析確定瞭在穫得高輸齣電壓條件下的電阻佈置方案.在此基礎上,對三軸進行瞭200 000 g載荷下的性能研究,結果錶明所設計的微加速度計具有較高的靈敏度和線性度.
제출료일충삼축고g적압조식미가속도계적설계방법.통과이론추도화계산,분석료모형적응력화빈솔,득도료구유교고빈솔적고g미가속도계적결구삼수.통과유한원연건ANSYS분석학정료재획득고수출전압조건하적전조포치방안.재차기출상,대삼축진행료200 000 g재하하적성능연구,결과표명소설계적미가속도계구유교고적령민도화선성도.
