光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
7期
1814-1819
,共6页
刘华%卢振武%熊峥%王尧%王鹤%黄剑波%谭向全%孙强
劉華%盧振武%熊崢%王堯%王鶴%黃劍波%譚嚮全%孫彊
류화%로진무%웅쟁%왕요%왕학%황검파%담향전%손강
绝对式光栅尺%光栅码道%母尺刻划%数字微镜器件%曝光头%计量光栅
絕對式光柵呎%光柵碼道%母呎刻劃%數字微鏡器件%曝光頭%計量光柵
절대식광책척%광책마도%모척각화%수자미경기건%폭광두%계량광책
absolute optical encoder%grating code-track%main scale%Digital Micro-mirror Device (DMD)%exposure head%metrological grating
提出了基于数字微镜器件(DMD)的双曝光头总体结构,该结构可同时刻划母尺的周期和非周期两个光栅码道.单曝光头包含曝光光源、调焦光源、DMD和投影镜头四部分,曝光光源由激光器、准直镜组、二维微透镜阵列和场镜组成.本文利用光学软件TracePro设计该光源,实现了能量的平顶分布,在14 mm×10 mm的照明面上均匀性达到95％以上.利用光学软件Zemax设计了工作在双波段(曝光光源0.403～0.407 μm和调焦光源0.525～0.535 μm)的共焦投影镜头,采用了二向色镜和分光棱镜使其能在曝光的同时进行实时调焦,优化后的系统在曝光波段和调焦波段均达到衍射极限,最大畸变为0.009％.与传统的光栅尺刻划技术对比,设计的曝光系统具有工艺简单、制作速度快、精度高等优势,可用于长、超长计量光栅的制作.
提齣瞭基于數字微鏡器件(DMD)的雙曝光頭總體結構,該結構可同時刻劃母呎的週期和非週期兩箇光柵碼道.單曝光頭包含曝光光源、調焦光源、DMD和投影鏡頭四部分,曝光光源由激光器、準直鏡組、二維微透鏡陣列和場鏡組成.本文利用光學軟件TracePro設計該光源,實現瞭能量的平頂分佈,在14 mm×10 mm的照明麵上均勻性達到95％以上.利用光學軟件Zemax設計瞭工作在雙波段(曝光光源0.403～0.407 μm和調焦光源0.525～0.535 μm)的共焦投影鏡頭,採用瞭二嚮色鏡和分光稜鏡使其能在曝光的同時進行實時調焦,優化後的繫統在曝光波段和調焦波段均達到衍射極限,最大畸變為0.009％.與傳統的光柵呎刻劃技術對比,設計的曝光繫統具有工藝簡單、製作速度快、精度高等優勢,可用于長、超長計量光柵的製作.
제출료기우수자미경기건(DMD)적쌍폭광두총체결구,해결구가동시각화모척적주기화비주기량개광책마도.단폭광두포함폭광광원、조초광원、DMD화투영경두사부분,폭광광원유격광기、준직경조、이유미투경진렬화장경조성.본문이용광학연건TracePro설계해광원,실현료능량적평정분포,재14 mm×10 mm적조명면상균균성체도95％이상.이용광학연건Zemax설계료공작재쌍파단(폭광광원0.403～0.407 μm화조초광원0.525～0.535 μm)적공초투영경두,채용료이향색경화분광릉경사기능재폭광적동시진행실시조초,우화후적계통재폭광파단화조초파단균체도연사겁한,최대기변위0.009％.여전통적광책척각화기술대비,설계적폭광계통구유공예간단、제작속도쾌、정도고등우세,가용우장、초장계량광책적제작.
