光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
7期
1794-1799
,共6页
蔡浩原%崔大付%李亚亭%张璐璐%陈兴
蔡浩原%崔大付%李亞亭%張璐璐%陳興
채호원%최대부%리아정%장로로%진흥
热电材料%纳米薄膜材料%塞贝克系数测量%电压测量%温度控制
熱電材料%納米薄膜材料%塞貝剋繫數測量%電壓測量%溫度控製
열전재료%납미박막재료%새패극계수측량%전압측량%온도공제
nano-film material%thermoelectric material%Seebeck coefficient measurement%voltage measurement%temperature control
为了实现高阻值纳米薄膜材料的热电系数测量,搭建了一套塞贝克系数测量系统.研究了该系统的温控精度和温差生成机制并测量了高阻值条件下微弱电压.首先,建立了高真空度和带有多重电磁屏蔽的真空测试环境;然后,设计了高稳定度温差控制平台,以便为测试样品提供可控温差;同时根据高阻条件下的微弱电压的检测要求,消除了检测通道的漏电流和分布电容的影响.最后,提出了一种循环温差的测量方法,用于有效去除分布电容引起的塞贝克电压长期漂移.采用该方法对高阻值的有机半导体材料进行了塞贝克系数的测定,结果显示:阻值高达7×1012Ω的有机薄膜材料的塞贝克系数的测量精密度<2%,温度控制精度为±0.001 K.得到的结果表明,该系统能够实现对样品阻值高达1012Ω的纳米薄膜材料的塞贝克系数的测量.
為瞭實現高阻值納米薄膜材料的熱電繫數測量,搭建瞭一套塞貝剋繫數測量繫統.研究瞭該繫統的溫控精度和溫差生成機製併測量瞭高阻值條件下微弱電壓.首先,建立瞭高真空度和帶有多重電磁屏蔽的真空測試環境;然後,設計瞭高穩定度溫差控製平檯,以便為測試樣品提供可控溫差;同時根據高阻條件下的微弱電壓的檢測要求,消除瞭檢測通道的漏電流和分佈電容的影響.最後,提齣瞭一種循環溫差的測量方法,用于有效去除分佈電容引起的塞貝剋電壓長期漂移.採用該方法對高阻值的有機半導體材料進行瞭塞貝剋繫數的測定,結果顯示:阻值高達7×1012Ω的有機薄膜材料的塞貝剋繫數的測量精密度<2%,溫度控製精度為±0.001 K.得到的結果錶明,該繫統能夠實現對樣品阻值高達1012Ω的納米薄膜材料的塞貝剋繫數的測量.
위료실현고조치납미박막재료적열전계수측량,탑건료일투새패극계수측량계통.연구료해계통적온공정도화온차생성궤제병측량료고조치조건하미약전압.수선,건립료고진공도화대유다중전자병폐적진공측시배경;연후,설계료고은정도온차공제평태,이편위측시양품제공가공온차;동시근거고조조건하적미약전압적검측요구,소제료검측통도적루전류화분포전용적영향.최후,제출료일충순배온차적측량방법,용우유효거제분포전용인기적새패극전압장기표이.채용해방법대고조치적유궤반도체재료진행료새패극계수적측정,결과현시:조치고체7×1012Ω적유궤박막재료적새패극계수적측량정밀도<2%,온도공제정도위±0.001 K.득도적결과표명,해계통능구실현대양품조치고체1012Ω적납미박막재료적새패극계수적측량.