强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2014年
8期
218-222
,共5页
王雪锋%王建国%王光强%李爽%熊正锋%陆希成%彭建昌
王雪鋒%王建國%王光彊%李爽%熊正鋒%陸希成%彭建昌
왕설봉%왕건국%왕광강%리상%웅정봉%륙희성%팽건창
太赫兹%脉冲测量%芯片%大功率%性能分析
太赫玆%脈遲測量%芯片%大功率%性能分析
태혁자%맥충측량%심편%대공솔%성능분석
terahertz%pulse measurement%sensing element%high power%performance analysis
针对一种已经完成模拟设计、工艺研究及成品开发,且线度仅为百μm量级的太赫兹脉冲热载流子探测芯片展开了几何参数及电参数测试,并对其性能进行了分析探讨.结果表明:探测芯片具有较小的几何加工偏差和良好的欧姆接触效果;模拟计算的结果表明这种量级几何加工偏差对相对灵敏度影响可以忽略;综合分析各种测试测量结果,进一步验证了芯片开发工艺和测试结果的有效性.
針對一種已經完成模擬設計、工藝研究及成品開髮,且線度僅為百μm量級的太赫玆脈遲熱載流子探測芯片展開瞭幾何參數及電參數測試,併對其性能進行瞭分析探討.結果錶明:探測芯片具有較小的幾何加工偏差和良好的歐姆接觸效果;模擬計算的結果錶明這種量級幾何加工偏差對相對靈敏度影響可以忽略;綜閤分析各種測試測量結果,進一步驗證瞭芯片開髮工藝和測試結果的有效性.
침대일충이경완성모의설계、공예연구급성품개발,차선도부위백μm량급적태혁자맥충열재류자탐측심편전개료궤하삼수급전삼수측시,병대기성능진행료분석탐토.결과표명:탐측심편구유교소적궤하가공편차화량호적구모접촉효과;모의계산적결과표명저충량급궤하가공편차대상대령민도영향가이홀략;종합분석각충측시측량결과,진일보험증료심편개발공예화측시결과적유효성.
