强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2014年
8期
77-80
,共4页
刘凤娟%周曙%秦娟娟%邵景珍%方晓东
劉鳳娟%週曙%秦娟娟%邵景珍%方曉東
류봉연%주서%진연연%소경진%방효동
248 nm KrF准分子激光器%高反膜%激光损伤%保护层
248 nm KrF準分子激光器%高反膜%激光損傷%保護層
248 nm KrF준분자격광기%고반막%격광손상%보호층
248 nm KrF excimer laser%high reflection film%laser induced damage%protective layer
用电子束蒸发法在熔融石英基底上沉积了适用于248 nm的HfO2/SiO2高反膜,为提高其抗激光损伤能力,设计并制备了两种保护层,一种是在常规高反膜系的基础上镀制二分之一波长厚度的SiO2保护层,另一种是用Al2O3/MgF2做保护层.测试了3种高反膜样品的激光损伤情况,通过损伤形貌的变化分析了两种保护层使抗激光损伤能力提高的原因以及存在的问题.
用電子束蒸髮法在鎔融石英基底上沉積瞭適用于248 nm的HfO2/SiO2高反膜,為提高其抗激光損傷能力,設計併製備瞭兩種保護層,一種是在常規高反膜繫的基礎上鍍製二分之一波長厚度的SiO2保護層,另一種是用Al2O3/MgF2做保護層.測試瞭3種高反膜樣品的激光損傷情況,通過損傷形貌的變化分析瞭兩種保護層使抗激光損傷能力提高的原因以及存在的問題.
용전자속증발법재용융석영기저상침적료괄용우248 nm적HfO2/SiO2고반막,위제고기항격광손상능력,설계병제비료량충보호층,일충시재상규고반막계적기출상도제이분지일파장후도적SiO2보호층,령일충시용Al2O3/MgF2주보호층.측시료3충고반막양품적격광손상정황,통과손상형모적변화분석료량충보호층사항격광손상능력제고적원인이급존재적문제.
