广东化工
廣東化工
엄동화공
GUANGDONG CHEMICAL INDUSTRY
2014年
16期
1-2,9
,共3页
纳米金刚石薄膜%磷离子注入%石英衬底%n型
納米金剛石薄膜%燐離子註入%石英襯底%n型
납미금강석박막%린리자주입%석영츤저%n형
在石英衬底上沉积纳米金刚石(NCD)薄膜,并进行1 ×10N cm-2剂量的磷离子注入,再在800、900℃下低真空退火30分钟.对薄膜的微结构和电学性能的研究表明,薄膜呈n型电导,具有载流子浓度低、迁移率高及电阻率高的导电特性.Raman光谱结果显示900℃退火样品的ID/IG值最大,说明薄膜内sp2碳发生团簇,有序度较高.XPS测试结果表明,石英衬底上沉积的纳米金刚石薄膜容易被氧化.这些因素使得薄膜的载流子浓度较低而迁移率较高.
在石英襯底上沉積納米金剛石(NCD)薄膜,併進行1 ×10N cm-2劑量的燐離子註入,再在800、900℃下低真空退火30分鐘.對薄膜的微結構和電學性能的研究錶明,薄膜呈n型電導,具有載流子濃度低、遷移率高及電阻率高的導電特性.Raman光譜結果顯示900℃退火樣品的ID/IG值最大,說明薄膜內sp2碳髮生糰簇,有序度較高.XPS測試結果錶明,石英襯底上沉積的納米金剛石薄膜容易被氧化.這些因素使得薄膜的載流子濃度較低而遷移率較高.
재석영츤저상침적납미금강석(NCD)박막,병진행1 ×10N cm-2제량적린리자주입,재재800、900℃하저진공퇴화30분종.대박막적미결구화전학성능적연구표명,박막정n형전도,구유재류자농도저、천이솔고급전조솔고적도전특성.Raman광보결과현시900℃퇴화양품적ID/IG치최대,설명박막내sp2탄발생단족,유서도교고.XPS측시결과표명,석영츤저상침적적납미금강석박막용역피양화.저사인소사득박막적재류자농도교저이천이솔교고.
