贵州大学学报（自然科学版）
貴州大學學報（自然科學版）
귀주대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF GUIZHOU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2014年
4期
52-56
,共5页
王训春%苏宝法%贾巍%徐建文%姜德鹏%池卫英%雷刚
王訓春%囌寶法%賈巍%徐建文%薑德鵬%池衛英%雷剛
왕훈춘%소보법%가외%서건문%강덕붕%지위영%뢰강
砷化镓%太阳电池%旁路二极管%干法刻蚀
砷化鎵%太暘電池%徬路二極管%榦法刻蝕
신화가%태양전지%방로이겁관%간법각식
GaAs%solar cell%bypass diode%dry etch
通过采用Cl2/BCl3/Ar作为刻蚀气体对三结砷化镓太阳电池隔离槽干法刻蚀工艺进行研究.针对单参数对刻蚀速率及刻蚀形貌的研究,摸索出最优工艺参数.研究结果表明采用合适的工艺参数,可以实现隔离槽一次刻蚀,并且干法刻蚀技术制备的二极管电性能良好,能经受环境适应性试验和可靠性验证.利用干法刻蚀技术,刻蚀精度大为提高,刻蚀形貌也大为改善,二极管制备合格率提高了2.5％以上.
通過採用Cl2/BCl3/Ar作為刻蝕氣體對三結砷化鎵太暘電池隔離槽榦法刻蝕工藝進行研究.針對單參數對刻蝕速率及刻蝕形貌的研究,摸索齣最優工藝參數.研究結果錶明採用閤適的工藝參數,可以實現隔離槽一次刻蝕,併且榦法刻蝕技術製備的二極管電性能良好,能經受環境適應性試驗和可靠性驗證.利用榦法刻蝕技術,刻蝕精度大為提高,刻蝕形貌也大為改善,二極管製備閤格率提高瞭2.5％以上.
통과채용Cl2/BCl3/Ar작위각식기체대삼결신화가태양전지격리조간법각식공예진행연구.침대단삼수대각식속솔급각식형모적연구,모색출최우공예삼수.연구결과표명채용합괄적공예삼수,가이실현격리조일차각식,병차간법각식기술제비적이겁관전성능량호,능경수배경괄응성시험화가고성험증.이용간법각식기술,각식정도대위제고,각식형모야대위개선,이겁관제비합격솔제고료2.5％이상.
